纳米定位系统

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多轴纳米定位系统
多轴纳米定位系统
SMARPOD 70.42

重复精度: 50 nm
运行行程: 11, 6 mm

... 尽管体积小,但小型化的SMARPOD 70.42能够处理高达5N的有效载荷。 SMARPOD 70.42是SmarAct最小的类似六爪鱼的定位系统,底板直径只有70毫米。尽管它的整体结构很紧凑,但它是一个坚固而精确的系统,可以处理高达5 N的有效载荷,在X和Y方向上有一厘米的移动范围。 它也有高真空和超高真空兼容版本,并可由完全非磁性材料制成。 机械 行程[- 14(Θx);16(Θy);28(Θz) 最大。法向力[N] - 5 最大的。水平力[N] - 2.5 尺寸[毫米] ...

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SmarAct GmbH
多轴纳米定位系统
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SMARPOD 110.45

重复精度: 50 nm
运行行程: 20, 11 mm

... 中等规模的SMARPOD 110.45能够以6个DoF定位高达5N的有效载荷。 SMARPOD 110.45是一个中型的类似六爪鱼的定位系统。由于其较大的行程范围,它的用途非常广泛。可选的是,底板可以配备工具、部件或传感器的安装柱,将定位系统转换为微组装和任何其他涉及精确对齐的应用的核心设备。 与其他SmarAct SMARPOD一样,110.45也有高真空和超高真空版本,或由完全非磁性材料制成。 机械性能 行程[毫米] - 20(X); 20(Y); 10(Z) 行程[-21(Θx);24(Θy);38(Θz) 最大。法向力[N] ...

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多轴纳米定位系统
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SMARPOD 225.75

重复精度: 50 nm
运行行程: 42, 24 mm

... SMARPOD 225.75是基于复杂的平行运动学设计,能够处理高达10N的有效载荷。 SMARPOD 225.75是较大的SmarAct SMARPOD之一,在X和Y方向提供超过40毫米的大行程范围。作为一个选项,底板可以配备安装柱,用于在SMARPOD的移动平台附近放置工具、传感器或其他部件。 像其他SmarAct SMARPOD一样,225.75也有高真空和超高真空版本,或由完全非磁性材料制成。 机械性能 行程[毫米] - 41(X); 41(Y); 21(Z) 行程[- ...

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多轴纳米定位系统
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SMARPOD P-SLC-17

重复精度: 50 nm
运行行程: 50, 30, 10 mm

... 一个中型SMARPOD,基于平行方向的SLC-17级,能够定位高达5N的有效载荷。 SMARPOD P-SLC-17是基于与水平安装的级的方向有关的不同机械设计。与几乎相同尺寸的圆形SMARPOD相比,P-SLC-17提供了更大的行程范围,省去了圆形设计中的开孔。 基于SLC-17系列平台,SMARPOD P-SLC-17也有高真空和超高真空版本,以及完全由非磁性材料制成的版本。 机械性能 行程[mm] - 48 (X); 28 ...48 (Y); ≤ 9 ...

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多轴纳米定位系统
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SMARPOD P-SLC-24

重复精度: 50 nm
运行行程: 62, 102, 17 mm

... 中型SMARPOD P-SLC-24是基于复杂的平行运动学设计,能够处理高达10N的有效载荷。 SmarAct的SMARPOD P-SLC-24以正交方向利用SLC-24线性平台,允许大行程范围,同时保持相当小的占地面积。由于P-SLC-24具有处理高有效载荷和长行程范围的能力,它是目前最通用的多轴定位系统之一。由于它是以SLC-24系列平台为基础的,因此也有高真空和超高真空兼容版本。 真空兼容版本。如果应用需要,它可以由完全非磁性材料制成。 机械性能 行程[mm] ...

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多轴纳米定位系统
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SMARPOD P-SLL

重复精度: 100 nm
运行行程: 330, 62, 17 mm

... SMARPOD P-SLL利用SLL-系列的三个滑架来实现长行程。 SMARPOD P-SLL在Y方向的运动是基于SLC级,在X方向是基于SLL级。由于这种不同线性平台的特殊组合,P-SLL在X方向上的行程范围非常大,可达1200毫米,同时在Y方向上保持较小的占地面积。它也可作为高真空兼容版本。 机械性能 行程[毫米] - 20 ...1200 (x); 45 ... 119 (y); ≤ 16 (z) 行程 [- ≤ 42 (Θx); ≤ 33 (Θy); ...

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光学应用纳米定位系统
光学应用纳米定位系统
782300:130.26

... 用于高精度自动光学检测的XYZ定位系统 | 滚珠丝杠、交叉滚子、直流电机、线性测量系统 在亚微米范围内高度稳定的非接触光学测量 这个三轴定位系统是为高精度测量应用而开发的,在这种情况下,XY平台以极低的俯仰和偏航误差将被测物体移动到Z轴上的传感器或相机。例如,在测量零件或记录三维轮廓时,甚至在高大的零件上也是如此。XYZ系统由KT310交叉工作台和花岗岩龙门架上的PMT160线性工作台的耐用标准轴组成。 高度精确和一致的测量结果 - 是高精度自动检测过程的理想选择 ...

3轴纳米定位系统
3轴纳米定位系统
NMM-1

... 以纳米精度对物体和结构进行定位、操作、处理和测量 - 世界上最精确的纳米定位和纳米计量设备 - 测量和定位范围 25 x 25 x 5 毫米 - 分辨率 0.1 纳米 - 精度最高的 3D 定位和测量系统 - 探测系统,例如激光聚焦传感器、原子力显微镜、白光传感器、三维微型扫描仪 - 开放式设备结构可应用定制传感器 - 通过 PC 软件控制 NMM-1。提供用户 API。 用于三维坐标测量的纳米定位和纳米测量机的测量范围为 25 mm x 25 mm x 5 mm,分辨率为 ...

3轴纳米定位系统
3轴纳米定位系统
NPP-1

... 用于原子力显微镜的平面激光干涉测量和定位系统 - 最高精度的 2.5 D 定位和测量系统 - 测量和定位范围:表面直径 100 mm - 横向测量分辨率 ≤ 0.02 nm - 控制:3 个光纤耦合差分干涉仪 - 利用波长为 633 nm 的氦氖激光作为干涉仪的光源,实现计量重复性。 - 原子力显微镜作为探测测量系统,其他可根据要求提供 - 开放式设备结构可应用客户定制的传感器 - NPP-1 通过 PC 软件进行控制。提供用户 API。 NPP-1 纳米测量和定位平台的定位范围约为 ...

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