3轴纳米定位系统 NPP-1

激光光学工业

用于原子力显微镜的平面激光干涉测量和定位系统 - 最高精度的 2.5 D 定位和测量系统 - 测量和定位范围：表面直径 100 mm - 横向测量分辨率 ≤ 0.02 nm - 控制：3 个光纤耦合差分干涉仪 - 利用波长为 633 nm 的氦氖激光作为干涉仪的光源，实现计量重复性。 - 原子力显微镜作为探测测量系统，其他可根据要求提供 - 开放式设备结构可应用客户定制的传感器 - NPP-1 通过 PC 软件进行控制。提供用户 API。 NPP-1 纳米测量和定位平台的定位范围约为 100 毫米。用于控制的激光干涉仪的高分辨率、定位系统的刚性结构、定位系统的气浮轴以及优化的控制系统，使得运动的位置偏差和路径保真度小于 2 nm RMS。 测量物体直接放置在移动镜面上。镜子的位置和旋转通过干涉测量法进行检测。 该系统采用 SP-DI/F 系列超稳定干涉仪。稳定激光器发出的光通过光纤从电子单元传输到干涉仪头。因此，NPP-1 结构紧凑，温度稳定。 该平台的有效载荷可达 5 千克，即使是较大和较重的物体也能通过该平台进行高精度定位。NPP-1 纳米定位系统的原理设计具有可扩展性，因此可根据要求定制系统。