{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
重复精度: 50 nm
运行行程: 62, 102, 17 mm
... 大型 SMARPOD 以 SLC-24 平台为基础，采用并联方式，在 X 轴方向上具有 102 毫米的大行程。 SMARPOD P-SLC-24 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-24 的 X 方向行程更大，达到 102 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 规格 行程 ...
... 以纳米精度对物体和结构进行定位、操作、处理和测量 - 世界上最精确的纳米定位和纳米计量设备 - 测量和定位范围 25 x 25 x 5 毫米 - 分辨率 0.1 纳米 - 精度最高的 3D 定位和测量系统 - 探测系统，例如激光聚焦传感器、原子力显微镜、白光传感器、三维微型扫描仪 - 开放式设备结构可应用定制传感器 - 通过 PC 软件控制 NMM-1。提供用户 API。 用于三维坐标测量的纳米定位和纳米测量机的测量范围为 25 mm x 25 mm x 5 mm，分辨率为 0.1 nm。特殊的传感器布置确保了在所有三个坐标轴上的测量均无偏差。三个微型干涉仪的测量轴实际上相交于探测传感器和被测物体之间的接触点。 被测物体直接位于可移动的镜角上。镜角的位置由三个固定的微型干涉仪检测。镜角通过三轴驱动系统定位。两个角度传感器用于测量和补偿定位过程中的角度偏差。 一个稳定激光器发出的光通过光纤从电子单元传输到干涉仪头。因此，纳米定位和纳米测量设备的设计结构紧凑、温度稳定。 ...
... 用于原子力显微镜的平面激光干涉测量和定位系统 - 最高精度的 2.5 D 定位和测量系统 - 测量和定位范围：表面直径 100 mm - 横向测量分辨率 ≤ 0.02 nm - 控制：3 个光纤耦合差分干涉仪 - 利用波长为 633 nm 的氦氖激光作为干涉仪的光源，实现计量重复性。 - 原子力显微镜作为探测测量系统，其他可根据要求提供 - 开放式设备结构可应用客户定制的传感器 - NPP-1 通过 PC 软件进行控制。提供用户 API。 NPP-1 纳米测量和定位平台的定位范围约为 100 毫米。用于控制的激光干涉仪的高分辨率、定位系统的刚性结构、定位系统的气浮轴以及优化的控制系统，使得运动的位置偏差和路径保真度小于 ...