SmarAct纳米定位系统

重复精度: 50 nm
运行行程: 11, 20 mm

... SMARPOD 70.42 是最紧凑的 系统，底板直径仅为 70 毫米，重量仅为 200 克。 SMARPOD 70.42 是最小的六脚架运动 系统，底板直径仅为 70 毫米。尽管整体结构紧凑，但它却是一个坚固耐用的精确 系统，可处理高达 5 N 的有效载荷，以 11 mm 的 X 和 Y 移动范围进行 定位。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 42, 24 mm

... 向移动范围为 42 mm，Z 向移动范围为 24 mm。底板可选配安装柱，用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个 系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 重复性 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 30, 50, 10 mm

... SMARPOD P-SLC-17 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-17 在 X 方向的行程更大，达到 50 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。更多信息，请参阅下载区的 CAD 模型。 重复性是在每个 系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。对于较短的行程范围，数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 机械参数 最大法向力 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 62, 102, 17 mm

... P-SLC-24 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-24 在 X 方向的行程更大，达到 102 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。更多信息，请参阅下载区的 CAD 模型。 重复性是在每个 系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。对于较短的行程范围，数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 ...

重复精度: 100 nm
运行行程: 17, 62, 330 mm

... SMARPOD P-CLL-CLS 使用 CLS 定位器实现 Y 方向的移动，X 方向则使用 CLL 平台。由于采用了这种不同线性平台的特殊组合，P-CLL-CLS 在 X 方向上可根据需要提供高达 1200 mm 的超大行程范围，同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。SMARPOD P-CLL-CLS 完全配备了可更换驱动单元 (EDU)，可确保轻松快速地更换压电驱动装置，而无需完全拆卸 定位 系统。 旋转行程值以顶板表面的支点为基准。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 6, 11 mm

... SMARPOD 70.42 是最紧凑的 系统，底板直径仅为 70 毫米，重量仅为 200 克。 SMARPOD 70.42 是最小的六脚架运动 系统，底板直径仅为 70 毫米。尽管整体结构紧凑，但它却是一个坚固耐用的精确 系统，可处理高达 5 N 的有效载荷，以 11 mm 的 X 和 Y 移动范围进行 定位。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 ...