多轴纳米定位系统 SMARPOD 70.42

六足式带有并联机构智能

小型 SMARPOD 70.42 是最紧凑的系统，底板直径仅为 70 毫米，重量仅为 200 克。 SMARPOD 70.42 是最小的六脚架运动系统，底板直径仅为 70 毫米。尽管整体结构紧凑，但它却是一个坚固耐用的精确系统，可处理高达 5 N 的有效载荷，以 11 mm 的 X 和 Y 移动范围进行定位。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 规格 行程 [ - 22 (Θx); 23 (Θy); 31 (Θz) 最大法向力 [N] - 5法向力 [N] - 5 最大水平力 [N] - 2.5水平力 [N] - 2.5 底板尺寸 [mm] - 直径 70 平台离地高度 [mm] - 42 重量 [g] - 200 闭环 传感器类型 - SC 最小增量 [nm] - 1 最小增量 [µ - 3 单向重复性 MCS2 [nm] - ± 50 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar)；UHV (1E-11 mbar)