多轴纳米定位系统 SMARPOD P-SLC-24

六足式紧凑型

中型SMARPOD P-SLC-24是基于复杂的平行运动学设计，能够处理高达10N的有效载荷。 SmarAct的SMARPOD P-SLC-24以正交方向利用SLC-24线性平台，允许大行程范围，同时保持相当小的占地面积。由于P-SLC-24具有处理高有效载荷和长行程范围的能力，它是目前最通用的多轴定位系统之一。由于它是以SLC-24系列平台为基础的，因此也有高真空和超高真空兼容版本。 真空兼容版本。如果应用需要，它可以由完全非磁性材料制成。 机械性能 行程[mm] - 79 ... 119 (X); 45 ... 119 (Y); ≤ 12 (Z) 行程[- ≤31（Θx）； ≤27（Θy）； ≤42（Θz） 最大。法向力 [N] - 10 最大。水平力 [N] - 5 尺寸[毫米] - 150 x 100 地面以上的平台高度[毫米] - 87 重量[g] - 300 ...2000 闭环 传感器类型 - S; SC 最小的增量[nm] - 1 最小增量[µrad] - 1 闭环重复性，全行程MCS2 [nm] - < ± 200 闭环重复性，1毫米行程 MCS2 [nm] - < ± 10 闭环重复性，全行程MCS2 [µrad] - < ± 15 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 无磁选项 - 是 (-NM) 附件 - 是的(-NM)