多轴纳米定位系统 SMARPOD P-SLC-24

六足式线性卧式

大型 SMARPOD 以 SLC-24 平台为基础，采用并联方式，在 X 轴方向上具有 102 毫米的大行程。 SMARPOD P-SLC-24 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-24 的 X 方向行程更大，达到 102 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 规格 行程 [ - 33 (Θx); 33 (Θy); 36 (Θz) 最大法向力 [N] - 5法向力 [N] - 5 最大水平力 [N] - 2.5水平力 [N] - 2.5 底板尺寸 [mm] - 195 x 91 平台离地高度 [mm] - 81 重量 [g] - 1890 闭环 传感器类型 - SC 最小增量 [nm] - 1 最小增量 [µ - 3 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar)；UHV (1E-11 mbar) 无磁选项 - 是 (-NM)