XYZ轴位移台 CLS52:523轴闭合回路模块化
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产品规格型号
- 方向定位
- XYZ轴
- 轴数量
- 3轴
- 其他特性
- 闭合回路, 模块化
- 运行行程
31 mm
(1.22 in)
产品介绍
基于三个CLS-5252阶段，行程范围为31毫米。该系统配备恒力弹簧，能够处理高达3.3牛顿的负载，并与SmarAct模块化系统完全兼容。
机械参数
负载 [N] - 1.5
闭环
传感器分辨率 MCS2 [nm] - 1 (S)
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