多轴纳米定位系统 SMARPOD 225.75六足式线性旋转
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产品规格型号
- 轴数量
- 多轴
- 构造
- 六足式, 线性, 旋转
- 其他特性
- 带有并联机构, 高真空
- 重复精度
50 nm
- 运行行程
24 mm, 42 mm
(0.94 in, 1.65 in)
产品介绍
SMARPOD 225.75 的底板直径为 225 毫米，在 X 和 Y 方向的行程为 42 毫米。
SMARPOD 225.75 的有效载荷可达 5 N。它是较大型的 SmarAct SMARPOD 之一，X、Y 向移动范围为 42 mm，Z 向移动范围为 24 mm。底板可选配安装柱，用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。
旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。
对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。
重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。
重复性
PDF产品目录
SmarAct Catalog 20
212 页
CATALOG 2025
192 页
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* 显示价格为参考价，此价格不含税、不含运费、不含关税，也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。