多轴纳米定位系统 SMARPOD 225.75

六足式线性旋转

SMARPOD 225.75 的底板直径为 225 毫米，在 X-Y 方向的行程为 42 毫米。 SMARPOD 225.75 的有效载荷最大可达 5 N。它是较大的 SmarAct SMARPOD 之一，在 X 和 Y 方向的行程范围为 42 mm，在 Z 方向的行程范围为 24 mm。底板可选配安装柱，用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 规格 行程 [ - 24 (Θx); 27 (Θy); 41 (Θz) 最大法向力 [N] - 5法向力 [N] - 5 最大水平力 [N] - 2.5水平力 [N] - 2.5 底板尺寸 [mm] - Ø 225 平台离地高度 [mm] - 75 重量 [g] - 2060 闭环 传感器类型 - SC 最小增量 [nm] - 1 最小增量 [µ - 3 单向重复性 MCS2 [nm] - ± 50 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar)；UHV (1E-11 mbar) 无磁选项 - 是 (-NM)