多轴定位系统 SMARPOD CLS-32

六足式压电带有并联机构

SMARPOD CLS-32配备了可更换的驱动单元，完全适用于所有的高可用性应用。 SMARPOD CLS-32是一个中型的类似六爪鱼的定位系统。该装置配备了SmarAct的可更换驱动单元（EDU），保证了压电驱动装置的简单和快速更换，而不需要完全拆卸定位装置，也不会丢失校准和位置数据。 与其他SmarAct SMARPOD一样，SMARPOD CLS-32也有高真空和超高真空版本，或由完全非磁性材料制成。 机械的 行程[-21（Θx）；24（Θy）；38（Θz） 最大。法向力[N] - 5 最大的。水平力[N] - 2.5 尺寸[毫米] - Ø 124 地面以上的平台高度[mm] - 55 重量[g] - 550