多轴纳米定位系统 SMARPOD P-SLC-17

六足式线性旋转

这种中型 SMARPOD 以 SLC-17 平台为基础，平行放置，X 方向行程为 50 毫米。 SMARPOD P-SLC-17 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-17 的 X 方向行程更大，达到 50 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 规格 行程 [ - 25 (Θx); 22 (Θy); 16 (Θz) 最大法向力 [N] - 5法向力 [N] - 5 最大水平力 [N] - 2.5水平力 [N] - 2.5 尺寸 [mm] - 110 x 70 底板尺寸 [mm] - 110 x 70 平台离地高度 [mm] - 67.4 重量 [g] - 680 闭环 传感器类型 - SC 最小增量 [nm] - 1 最小增量 [µ - 3 单向重复性 MCS2 [nm] - ± 50 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar)；UHV (1E-11 mbar) 无磁选项 - 是 (-NM)