多轴纳米定位系统 SMARPOD 110.45
六足式线性旋转

多轴纳米定位系统 - SMARPOD 110.45 - SmarAct GmbH - 六足式 / 线性 / 旋转
多轴纳米定位系统 - SMARPOD 110.45 - SmarAct GmbH - 六足式 / 线性 / 旋转
多轴纳米定位系统 - SMARPOD 110.45 - SmarAct GmbH - 六足式 / 线性 / 旋转 - 图像 - 2
多轴纳米定位系统 - SMARPOD 110.45 - SmarAct GmbH - 六足式 / 线性 / 旋转 - 图像 - 3
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产品规格型号

轴数量
多轴
构造
六足式, 线性, 旋转
其他特性
带有并联机构, 高真空
重复精度

50 nm

运行行程

11 mm, 20 mm
(0.43 in, 0.79 in)

产品介绍

小型SMARPOD 70.42 是最紧凑的系统,底板直径仅为 70 毫米,重量仅为 200 克。 SMARPOD 70.42 是最小的六脚架运动系统,底板直径仅为 70 毫米。尽管整体结构紧凑,但它却是一个坚固耐用的精确系统,可处理高达 5 N 的有效载荷,以 11 mm 的 X 和 Y 移动范围进行定位。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处,在全行程范围内,针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。

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展厅

该卖家将出席以下展会

ELECTRONICA 2026
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10-13 11月 2026 Munich (德国) 展会 C1 - 展台 852

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    SPS 2026
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    24-26 11月 2026 Nuremberg (德国) 展会 4A - 展台 651

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