多轴纳米定位系统 SMARPOD P-CLL-CLS

六足式线性旋转

大型SMARPOD 采用了 CLL 系列的三个滑架，在 X 方向上的移动范围极大，达到 330 毫米。 SMARPOD P-CLL-CLS 使用 CLS 定位器实现 Y 方向的移动，X 方向则使用 CLL 平台。由于采用了这种不同线性平台的特殊组合，P-CLL-CLS 在 X 方向上可根据需要提供高达 1200 mm 的超大行程范围，同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。SMARPOD P-CLL-CLS 完全配备了可更换驱动单元 (EDU)，可确保轻松快速地更换压电驱动装置，而无需完全拆卸定位系统。 旋转行程值以顶板表面的支点为基准。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。对于较短的行程范围，数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。