多轴纳米定位系统 SMARPOD P-CLL-CLS

六足式线性旋转

大型 SMARPOD 采用了 CLL 系列的三个滑块，在 X 方向上的移动范围极大，达到 330 毫米。 SMARPOD P-CLL-CLS 在 Y 轴方向使用 CLS 定位器，在 X 轴方向使用 CLL 平台。由于采用了这种不同线性平台的特殊组合，P-CLL-CLS 在 X 方向上可根据需要提供高达 1200 mm 的超大行程范围，同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。SMARPOD P-CLL-CLS 完全配备了可更换驱动单元 (EDU)，可确保轻松快速地更换压电驱动装置，而无需完全拆卸定位系统。 旋转行程值以顶板表面的支点为基准。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 规格 行程 [ - 32 (Θx); 34 (Θy); 30 (Θz) 最大法向力 [N] - 4法向力 [N] - 4 最大水平力 [N] - 2水平力 [N] - 2 底板尺寸 [mm] - 554 x 45 平台离地高度 [mm] - 72 重量 [g] - 2950 闭环 传感器类型 - SC 最小增量 [nm] - 1 最小增量 [µ - 3 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar)；UHV (1E-11 mbar)