多轴纳米定位系统 SMARPOD P-SLL

六足式

SMARPOD P-SLL利用SLL-系列的三个滑架来实现长行程。 SMARPOD P-SLL在Y方向的运动是基于SLC级，在X方向是基于SLL级。由于这种不同线性平台的特殊组合，P-SLL在X方向上的行程范围非常大，可达1200毫米，同时在Y方向上保持较小的占地面积。它也可作为高真空兼容版本。 机械性能 行程[毫米] - 20 ...1200 (x); 45 ... 119 (y); ≤ 16 (z) 行程 [- ≤ 42 (Θx); ≤ 33 (Θy); ≤ 42 (Θz) 最大。法向力 [N] - 10 最大。水平力 [N] - 5 尺寸[毫米] -> 250 x 93 地面以上的平台高度[mm] - 67.5 重量[g] - 300 ...2000 闭环 传感器类型 - S; SC 最小的增量[nm] - 1 最小增量[µrad] - 1 闭环重复性，全行程MCS2 [nm] - < ± 200 闭环重复性，1毫米行程 MCS2 [nm] - < ± 10 闭环重复性，全行程MCS2 [µrad] - < ± 15 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar)