显微镜检查定位系统

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - 2个X轴，每个轴用于扫描器/显微镜，最大重量为25公斤 - ...

重复精度: 0.01 µm - 2.5 µm
传送速度: 5 mm/s - 35 mm/s

... 可定制： - 是医学、生物技术和半导体技术领域开发和设置高精度 3D 流程的理想之选 - 微米范围内的稳定性带来超精细的细节成像和更高的变焦水平 - 循环时间短，速度高达 35 毫米/秒 - 结果重复性极高，可达 2.5 µm，旋转运动精度可达 0.02° - 采用长期可靠的标准轴，维护成本低，使用寿命超长 这种 9 轴定位系统可以在显微镜或高分辨率相机下从所有可能的角度观察样品，例如注射喷嘴、支架、小型切割工具、插管和其他旋转对称部件。该系统由 KLT310 ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
运行行程: 100 mm - 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 带控制器的 XYZ 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.3 微米 - 以 30 mm/s 的相对较高定位速度实现最小步距和最高可靠性 - ± 1 的完美平面度，可定位高达 150 N 的中等载荷 该 XY 组合带有独立的 Z 垂直单元，由 PMT160 的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - 标准系统：PMT160-SM (XYZ) - 行程：200 ...

重复精度: 0.3 µm - 0.7 µm
运行行程: 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 用于高分辨率的 XYZ 显微镜和检测站 可定制： - 样品检测的理想选择 - 重复精度高达 0.3 µm - 将测量偏差降至 3 µm 以下 该 3 轴定位系统专为高精度计量应用而设计，在该应用中，平台在 Z 轴上将待测物体移动到传感器或照相机上。xy 平台由可靠的 KT310 和直流电机组成。 规格 - 行程：200 毫米（XY）/ 200 毫米（Z） - 重复精度： ± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) - 定位速度：25 毫米/秒（XY）/15 ...

重复精度: 0.8 µm - 4 µm
载荷: 1 kg
运行行程: 25 mm - 25 mm

... MP63-3 微型 XYZ 定位系统，笛卡尔式 可定制： - 极高的分辨率 - 适用于有限的建筑空间 - 负载能力高达 10 N - 通过细螺纹主轴实现更精细的应用调整 - 使用寿命长，通过仿形导轨轴承实现特别精确的运动 这种微型 X-Y-Z 系统非常适合空间有限的定位应用。与细螺纹主轴相结合，XYZ Stage 可实现极高的分辨率值。同时，这种高精度定位系统还具有极高的性价比。 规格 - 标准组件：MT63-DC - 行程：25 毫米 - 重复精度： ± ...

... 从各个角度进行自动和高分辨率的成像 这个9轴定位系统使得在显微镜或高分辨率相机下从所有可能的角度观察样品成为可能，如注射喷嘴、支架、小型切割工具、套管和其他旋转对称的部件。它由KLT310与PMT160的XYZ的坚固和刚性的标准组件组成，不同类型的显微镜可以连接到它上面。轻巧、紧凑和稳定的KT180 XY偏移台用于旋转轴，上面还有一个带旋转轴和安装卡盘的旋转轴。 即使加工时间短，也能实现超精细的细节 - 是开发和设置医学、生物技术和半导体技术中高精度三维工艺的理想选择 - ...

重复精度: 0.1, 0.5 µm
运行行程: 2 mm
传送速度: 0 mm/s

... 高分辨率、工业级和成本优化的产品 这个定位系统用于自动化共焦显微镜和照相机的应用，可以实现超过1亿次的聚焦，并产生出色的图像。特别是对于共焦光学器件，需要最小的定位步长低于一微米，并且与理想的直线运动的偏差最小。一个新的驱动概念包括一个中心作用的偏心驱动，用于100纳米的定位步长，在坚固性、性能、可靠性、集成度和成本效率方面满足所有行业的要求。 不受外部振动的影响，获得出色的高分辨率图像 - 是自动共聚焦显微镜、分析和扫描应用的理想选择 - 使用共焦传感器进行高分辨率测量，最高可达0.1微米，以及非常小的堆叠距离的焦点堆叠 - ...

传送速度: 30 mm/s

... 用于多种测量任务的高精度检测系统 这个三轴定位系统是为高精度的计量应用而设计的，平台在Z轴上把要测量的物体移动到传感器或相机上。xy平台由可靠的KT310组成，采用直流电机设计。它的概念是内部电机、交叉滚柱导轨和高精度滚珠丝杠，在优化利用安装空间的同时实现了卓越的精度。 高度精确和一致的测量结果 - 是自动化样品检测的理想选择 - 高精度的重复性可达 0.3 µm - 测量偏差减少到3微米以下 可选择扩展。 - 各种行程可达200毫米 - 带/不带花岗岩底座 - ...

重复精度: 5.5, 2.5, 6.5, 4.5 µm

... XYZ AFM龙门架，用于晶圆检测、显微镜|行程达550 x 1550毫米|空气轴承、滚珠丝杠、皮带、步进电机 高度稳定的AFM空气轴承龙门架，行程范围大 这种非常坚固的XYZ龙门架是专门为高精度原子力显微镜（AFM）检查特别大的玻璃样品而设计的。在u型样品平台的上方是一个可移动的Z型悬臂，用于定制AFM。 悬臂可以精确地与样品对齐，并移动到U形内的任何一点进行表面浮雕采集。空气轴承提供了出色的平面内定位精度。最大的样品重量是500公斤。 原子稳定性，用于高要求的测量 ...