3轴定位系统 782489:001.26

线性用于显微镜检查直流电动机

用于高分辨率的 XYZ 显微镜和检测站 可定制： - 样品检测的理想选择 - 重复精度高达 0.3 µm - 将测量偏差降至 3 µm 以下 该 3 轴定位系统专为高精度计量应用而设计，在该应用中，平台在 Z 轴上将待测物体移动到传感器或照相机上。xy 平台由可靠的 KT310 和直流电机组成。 规格 - 行程：200 毫米（XY）/ 200 毫米（Z） - 重复精度： ± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) - 定位速度：25 毫米/秒（XY）/15 毫米/秒（Z） - 最大负载 Fx/ Fy：45 N (XY) - 最大负载 Fz：110 N (XY) / 150 N (Z) - 电机直流电机，滚珠丝杠（XY）/手动 - 反馈线性刻度 定制选项： - 各种行程可达 200 毫米 - 带/不带花岗岩底座 - 带/不带减震器 - 步进电机、直流电机和各种分辨率的测量系统 - 电动 Z 轴，例如 MT130 或 PMT 160 - 与 DT200 结合使用的旋转运动 - 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（根据要求可达 1 级） - 通过预配置的控制器（包括样本软件）实现即用型控制