多轴定位系统 782430:002.26
XYZ轴4轴线性

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产品规格型号

轴数量
多轴, XYZ轴, 4轴
构造
线性, 自动, 立式, 卧式, 门式
应用
用于机器人, 工业, 用于检测晶片和计量, 半导体工业, 用于无菌室, 卫生保健应用, 光学应用, 用于显微镜检查, 用于样本制备, 质量控制, 电路板
其他特性
伺服操控式, 紧凑型, 滚珠丝杠, USB, 高解析度, 线性电机驱动, 电机伺服, 组合模块, 大孔径, 型材轨道用, 快速, 花岗岩板, 精准, 带控制器
重复精度

最少: 0.3 µm

最多: 2.5 µm

载荷

最少: 5 kg
(11.02 lb)

最多: 20 kg
(44.09 lb)

运行行程

最少: 100 mm
(3.94 in)

最多: 720 mm
(28.35 in)

传送速度

最少: 150 mm/s

最多: 1,500 mm/s

产品介绍

用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围,每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成,可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动,以检查几何形状,进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程:2 x 720 x 720 x 100 mm - 2个X轴,每个轴用于扫描器/显微镜,最大重量为25公斤 - 2个Y轴,每个用于卡盘,最大23公斤/晶圆,最大12英寸/300毫米 - 重复性:1.5 - ± 0.3 µm - 速度:750 - 1500毫米(XY)/150 - 300(Z)。 - 最大负荷:150 N (XY) / 200 N (Z) - 驱动:直线电机(无铁),导轨(XY),滚珠螺杆,交流伺服(Z)。 - 反馈:直线光栅,电机编码器 - 运动控制器:FMC-250/280,ACS,PLC集成 - 洁净室等级:ISO 2级 定制的选项: - 过程适应性,样品架,头/传感器 - 洁净室ISO 14644-1的版本(按要求可达到1级)。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 吸入和循环带盖的连接 - XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度扩展 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案

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PDF产品目录

展厅

该卖家将出席以下展会

Simtos 2024
Simtos 2024

1-05 4月 2024 Seoul (韩国)

  • 更多信息
    AMB 2024
    AMB 2024

    10-14 9月 2024 Stuttgart (德国) 展会 C2 - 展台 30

  • 更多信息
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    * 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。