XYZ轴定位系统 782481:001.26

线性用于检测晶片和计量滚珠丝杠

用于晶片检测和显微镜检查的 XYZ AFM 龙门架 可定制 - 高刚性和精确测量的理想选择，不受振动影响 - 行程为 150 x 275 x 50 毫米，可扩展至 550 x 1550 x 50 毫米，因此产量高 - 静止时的极高稳定性可达 5 纳米或更高 - 采用无磨损空气轴承，使用寿命长 这种非常坚固的 XYZ 龙门架是专为高精度原子力显微镜（AFM）检查特别大的玻璃样品而设计的。U 形样品平台上方是一个 Z 向可移动悬臂，用于定制原子力显微镜。 规格 - 标准系统：PLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2) - 行程600 x 600 x 100 x 100 毫米 - 重复精度： 0.2 - ±2 µm - 速度： 500 - 1000 mm (XY) / 10 - 20 mm (Z) - 最大载荷150 N (Z) - 驱动：直线电机（铁芯）、轮廓导轨 (XY) | 滚珠丝杠、直流电机、交叉滚轮 (Z) - 反馈：直线光栅尺 - 运动控制器ACS, PLC 集成 可选配： Nanosurf 提供紧凑、可组装和定制的原子力显微镜系统。