XYZ轴定位系统 782300:179.26门式半导体工业用于无菌室
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产品规格型号
- 轴数量
- XYZ轴
- 构造
- 门式
- 应用
- 半导体工业, 用于无菌室, 用于实验室应用, 用于制药业, 用于扫描仪
- 其他特性
- 滚珠丝杠, 精准, 型材轨道用, 带步进马达
- 重复精度
最多: 4.4 µm
最少: 1.9 µm
- 载荷
50 kg
(110.23 lb)- 运行行程
最多: 1,000 mm
(39.37 in)最少: 100 mm
(3.94 in)- 传送速度
最多: 30 mm/s
最少: 10 mm/s
产品介绍
带真空吸盘的 XXL XYZ 传送门
可定制：
- 适用于焦点变化的自动化表面检测
- 设计用于重量达 50 公斤的样品（不包括真空平台）
- 被动减震和建筑振动去耦合（标准测量室质量等级 3，符合 VDI 2627 标准）
- 超长使用寿命（1,000,000 次全循环和 500,000 次全循环的维护间隔（每两年一次
该定位系统可在 1000 x 1000 mm 的范围内移动真空吸盘。标准系统 PMT160-SM 固定在横向轴上，用于客户定制的传感器，该传感器用于焦距变化。轴是全封闭的，可防止污染和干扰。
规格
- 标准系统：PLT320-SM（XY）/PMT160-SM（Z）
- 行程：1000 毫米（XY）/ 100 毫米（Z）
- 重复性：± 3.9 - ± 4.4 µm (XY) / ± 1.9 - ± 2.4 µm (Z)
- 定位速度：30 毫米/秒（XY）/10 毫米/秒（Z）
- 最大载荷490 N (XY) / 40 N (F) / ± 45 N (Z)
- 电机步进电机（XYZ）
- 导轨： 滚珠丝杠（XYZ滚珠丝杠（XYZ）
- 导轨轮廓导轨（XY）/交叉滚子轴承（Z）
- 反馈：开环 (XYZ)
- 长 x 宽 x 高：2250 x 1500 x 1500 毫米
定制选项：
- 配备线性光栅尺，精度可达 0.3 µm
- 模块化系统配置
- 安全柜
- 用于半导体、生物技术和制药的特殊配置
- 适用于 ISO 14644-1 洁净室的型号（根据要求可达到 1 级）
- 预配置控制器的即用型运动控制，包括样本软件
- 利用 3D 设计为定位任务开发个性化解决方案
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