8轴定位系统 417815.2022.W3.AB

多轴门式电机伺服

可定制： - 理想的切向扫描，提供多种调节选项 - 校正倾斜和横向偏移达 0.5 µm - 光束线孔径为 45 毫米 - 气浮旋转平台，精度可达 0.0005° 该定位系统可在 6 个自由度内进行切向扫描，具有极高的重复性。样品支架可调节焦距、角度和距离，位于带孔径的 XYZ phi 三角形对准器上，可在 4 个轴上校正倾斜和横向偏移。 规格 - 标准系统：DT250 (Rz) / MP200-5 (X, Y, Rx, Ry) / PMT160-DC-L (F) / PLT165-SM (Z) - 行程：n x 360 毫米（Rz）/±1.5 - ±2 毫米（X、Y、Rx、Ry）/90 毫米（R）/50 毫米（F）/100 毫米（Z） - 重复性：0.0005 - 0.001 µm (Rz) / ±0.5 - ±5.2 µm (X, Y, Rx, Ry) / 1 µm (R) / ±0.3 - ±0.4 µm (F) / ±3.9 - ±4.4 µm (Z) - 定位速度：700-1400 mm/s (Rz) / 0.4 - 0.8 (XYZ) / 30-80 mm/s (FZ) - 最大负载20 N (Ry) / 40 N (F) / 150 N (Z) - 电机铁芯动态线性电机 (Rz) / 步进电机 (X, Y, Rx, Ry, Z) / 手动 (R) - 导轨： 空气轴承 (Rz)空气轴承（Rz）/固态，齿轮箱，导螺杆（X、Y、Rx、Ry）/滑动导轨（R）/交叉滚子轴承，滚珠丝杠（F）/型材导轨，滚珠丝杠（Z） - 反馈：角度刻度（Rz）/开环（XY、Rx、Ry、Z）/滑动导轨（R）/线性刻度（F） - 孔径直径 45 毫米 定制选项： - 用于 XYZ-Rx-Ry-Rz 运动的可组合标准平台 - 带框架、隔振装置和外壳的个性化配置 - 传感器/测量头、样品架的工艺适应性 - 无尘室、实验室和生产用版本 - 无线供电和信号传输 - 通过 PLC 或 PC 控制器集成到工作流程中