光学应用定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... 用于高动态应用的XYZ龙门架 可定制的 - 高精度和动态应用的理想选择 - 1300 x 800 mm的超大行程范围 - 高加速度和速度与高精度相结合 这种龙门架可以在1300 x 800毫米的范围内实现高动态运动。Z轴上的定制加工头或传感器在花岗岩上的载体上快速、平稳地移动。异型导轨直接安装在花岗岩上，提供最佳的运行特性，以实现巨大的可重复的亚微米结果。 规格 - 行程：800 x 1300 x 200 mm - 重复性：1 - 0.7 µm - 速度：500 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - 2个X轴，每个轴用于扫描器/显微镜，最大重量为25公斤 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.5 µm
运行行程: 50 mm - 200 mm
传送速度: 30 mm/s

... 用于高精度自动光学检测的 XYZ 定位系统 可定制： - 高精度自动化检测过程的理想选择 - 重复精度高达 0.3 µm - 测量误差降至 3 µm 以下 这种三轴定位系统是专为高精度测量应用而开发的，在这种情况下，XY 平台将被测物体移动到 Z 轴上的传感器或照相机时，俯仰和偏航误差极小。例如，在测量部件或记录三维轮廓（即使是高部件）时就是如此。 规格 - 标准系统：KT310-DC (XY) / PMT160-DC (Z) - 行程：200 毫米（XY）/ ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
运行行程: 100 mm - 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 带控制器的 XYZ 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.3 微米 - 以 30 mm/s 的相对较高定位速度实现最小步距和最高可靠性 - ± 1 的完美平面度，可定位高达 150 N 的中等载荷 该 XY 组合带有独立的 Z 垂直单元，由 PMT160 的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - 标准系统：PMT160-SM (XYZ) - 行程：200 ...

重复精度: 0.8 µm - 4 µm
载荷: 1 kg
运行行程: 25 mm - 25 mm

... MP63-3 微型 XYZ 定位系统，笛卡尔式 可定制： - 极高的分辨率 - 适用于有限的建筑空间 - 负载能力高达 10 N - 通过细螺纹主轴实现更精细的应用调整 - 使用寿命长，通过仿形导轨轴承实现特别精确的运动 这种微型 X-Y-Z 系统非常适合空间有限的定位应用。与细螺纹主轴相结合，XYZ Stage 可实现极高的分辨率值。同时，这种高精度定位系统还具有极高的性价比。 规格 - 标准组件：MT63-DC - 行程：25 毫米 - 重复精度： ± ...

重复精度: 0.001 µm - 3.5 µm
载荷: 6.5 kg
运行行程: 4 mm - 20 mm

... 6 轴微型 XYZ-Theta-Phi-Delta 定位系统（ISO 5 级无尘室） 可定制： - 自动检测晶圆和光学器件的理想选择，检测范围可达 300 毫米/12 英寸 - 重复精度高达 ± 2.5 µm 或 ± 0.005° - 出色的精度、刚性和紧凑性，尺寸为 520 x 600 x 155 毫米 - 设计用于三班制操作，洁净室等级可达 ISO 5 6 轴机械手包括一个水平轴 XY 平台和一个用于垂直行程和两次倾斜的三脚架，在一个系统中结合了笛卡尔运动设计和平行运动设计的优点。 规格 - ...

... 用于光学透镜、圆柱体定位的Phi系统，如测针仪 | X直流电动机、滚珠丝杠、交叉滚子、线性测量系统 | Phi交流伺服、角度测量系统 对巨大的分辨率有很好的稳定性 该X-Phi定位系统由PMT160线性平台的高精度和耐用的标准轴以及用于旋转的DTS130-HM组成。它是测量应用的理想选择，在这种应用中，试样被精确地移动到测量位置，因此不需要额外的进给轴。 高度精确和可靠的测量结果 - 非常适合于圆形部件的光学测量，例如晶圆、光学器件 - 由于带有行程的高精度旋转运动，省去了额外购买装载轴的费用 ...