真空定位系统

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多轴定位系统
多轴定位系统
Robocup

... 在轮廓加工机的工作台上自动夹持板材工件的系统 在加工过程中用于夹紧工件的真空吊舱不需要飞行的柔性软管,因为它们与配备有智能阀门的特殊工作台对接,这些阀门根据机器周期进行控制。 ...

多轴定位系统
多轴定位系统
FTL40-H1

... 系列:FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度: 0.03mm 最大速度: 255mm/s 最大负载: 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商,成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业,已获得 ...

多轴定位系统
多轴定位系统
FTS40XYZ-L

重复精度: 0.03 mm
载荷: 25 kg
运行行程: 50 mm - 1,000 mm

... 系列:FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度: 0.03mm 最大速度: 255mm/s 最大负载: 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商,成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业,已获得 ...

三脚定位系统
三脚定位系统
TRIPOD 52-6DoF

重复精度: 50 nm
运行行程: 31, 6 mm

... TRIPOD 52-6DoF与CLS-52模块系统兼容,包括一个尖端倾斜台,就像其较大的同类产品TRIPOD 92-6DoF一样。 三个炮塔的安排允许顶板在Θx的±8.5°、Θy的±9.5°范围内进行滚动和俯仰运动,并在Z方向进行5毫米的线性平移。顶板包括一个SR-3211旋转平台的安装槽,为设置增加了第四个自由度。相反,底板允许直接安装到面包板或一个由两个CLS-52线性DeepL 平移组成的XY平台。后面的可能性产生一个5D或与SR-3211一起产生一个6D定位系统。 机械性能 行程[毫米] ...

三脚定位系统
三脚定位系统
TRIPOD 92-6DoF

重复精度: 50 nm
运行行程: 6, 31 mm

... 两个TRIPOD中较大的一个与CLS-92模块系统兼容。 一个尖端倾斜平台是这个定位系统的核心部件。三个转塔的安排允许顶板在Θx的±13°、Θy的±15°范围内进行滚动和俯仰运动,并在Z方向进行10毫米的线性平移。顶板还包括一个槽,用于安装SR-4011旋转台,为设置增加第四个自由度。相反,底板允许直接安装到面包板或由两个CLS-92线性DeepL 平移组成的XY平台。后者可以产生一个5D或与SR-4011一起产生一个6D定位系统。 机械性能 行程[毫米] - ...

XYZ轴定位系统
XYZ轴定位系统

EUV,除气、泵送时间、稳定性和磁扰是在真空系统布置过程中考虑的主要参数。此外,针对您要求严苛的环境和性能,提供与完美的运动解决方案相关的所有其他关键参数。 我们的系统专门开发而成,可通过集成从直线电机(包括特定屏蔽)至压力驱动装置和特殊线缆的特定组件,在 10^9mbar 的分压条件下运行。 所有相关的机械部件(铝和/或 SUS)均为内部生产,以保持清洁度并完美控制除气过程。 所有的真空系统都在我们的洁净室内进行装配、测试和包装,经特别设计可满足您的生产节奏需求 “大尺寸格式系统”兴趣点*的典型规格 配置:XYZ ...

门式定位系统
门式定位系统
BSMAE-F120L-1000X1000X100

... 带精密滚珠丝杠的扁平电动执行机构在一个非常紧凑、扁平的单元中提供出色的精度、可重复性和超精细定位分辨率,可达 1 微米。 它们是光学、激光和真空操作等空间关键型应用的理想选择。 ...

XYZ轴定位系统
XYZ轴定位系统
BSMAE-F80L-300X300X300

高真空定位系统
高真空定位系统
LA80-2LA95

... 快速3轴超高压系统LA80-LA90 UV / UHV / EUV,最大。500毫米行程,2微米重复性,5公斤负载 这种快速转移平台适用于超高真空中精确、快速和长寿命的应用。由于其极低的发射量和低颗粒数,它也符合在极端紫外线辐射下使用的要求。该轴的尺寸为LA80、LA95、LA170,在垂直操作中可承受高达20公斤的载荷。该轴组合是作为 "tOMography Nano crYo (OMNY)" mit dem Paul Scherrer Institut (PSI)的一部分开发的。 ...

XY轴定位系统
XY轴定位系统

... 8 站半导体晶圆指数仪 本系统专门设计用于在高温下对 2 ″ 或 3 ″ 半导体晶圆进行离子束处理。 它由一个带有高精度直流电源和分位系统的台式炉组成。分位系统可精确控制晶圆位置,并允许每次运行 8 个晶圆的批量处理。 晶圆旋转到加热器上,在离子束处理开始前几秒钟内进行加热。 温度由读取加热晶圆表面温度的光学高温计控制。 大接入端口允许连接离子束仪器。 炉子是一个完整的转钥匙系统,配备真空系统、惰性气体系统、分度伺服控制、温度控制和水冷系统。 ...

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