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... EUV，除气、泵送时间、稳定性和磁扰是在真空系统布置过程中考虑的主要参数。此外，针对您要求严苛的环境和性能，提供与完美的运动解决方案相关的所有其他关键参数。 我们的系统专门开发而成，可通过集成从直线电机（包括特定屏蔽）至压力驱动装置和特殊线缆的特定组件，在 10^9mbar 的分压条件下运行。 所有相关的机械部件（铝和/或 SUS）均为内部生产，以保持清洁度并完美控制除气过程。 所有的真空系统都在我们的洁净室内进行装配、测试和包装，经特别设计可满足您的生产节奏需求 “大尺寸格式系统”兴趣点*的典型规格 配置：XYZ ...
... 系列：FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度： 0.03mm 最大速度： 255mm/s 最大负载： 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商，成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业，已获得 82 项知识产权授权，其中发明专利、实用新型、外观专利 ...
重复精度: 0.03 mm
载荷: 25 kg
运行行程: 50 mm - 1,000 mm
... 系列：FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度： 0.03mm 最大速度： 255mm/s 最大负载： 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商，成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业，已获得 82 项知识产权授权，其中发明专利、实用新型、外观专利 ...
重复精度: 50 nm
运行行程: 31, 6 mm
... TRIPOD 52-6DoF 运动系统有六个自由度，使用 SMARSLIDE 高精度压电定位器。 TRIPOD 52-6DoF 的核心部件是 TRIPOD 52-Core 平行运动顶倾平台。其设计有三个径向排列的塔架，可实现顶板的滚动和俯仰运动，Rx 和 Rx 的总行程分别为 20°和 19°，Z 方向的线性平移为 6 毫米。在 TRIPOD 52-Core 的顶部有一个 SR-3211 旋转平台，可绕 Z 轴无限旋转。TRIPOD 52-Core 与 CLS-52 模块化系统完全兼容，可放置在由两个 ...
重复精度: 50 nm
运行行程: 31, 6 mm
... 两个 TRIPOD 92-6DoF 运动系统中较大的一个有六个自由度，使用 SMARSLIDE 高精度压电平台，也与 CLS-92 模块化系统完全兼容。 TRIPOD 92-6DoF 的核心部件是 TRIPOD 92-Core 平行运动尖端倾斜平台。其设计有三个径向排列的塔架，可实现顶板的滚动和俯仰运动，Rx 总行程为 31°，Ry 总行程为 27°，Z 方向的线性平移为 11 毫米。在 TRIPOD 92-Core 的顶部有一个 SR-5714C 旋转平台，可绕 Z 轴进行无限旋转。TRIPOD ...
... 带精密滚珠丝杠的扁平电动执行机构在一个非常紧凑、扁平的单元中提供出色的精度、可重复性和超精细定位分辨率，可达 1 微米。 它们是光学、激光和真空操作等空间关键型应用的理想选择。 ...
重复精度: 0.3 µm
载荷: 30 kg
运行行程: 650, 205 mm
... CHARON2 是我们最受欢迎的运动系统平台。通过其坚固可靠的堆叠结构，以及模块化和可扩展性设计，它被公认为是许多交钥匙运动解决方案的高性价比切入点。 CHARON2 系列有多种预定义配置，从单 X 轴到完整的 6 自由度 (DOF) 运动系统。从我们的标准电子元件中进行选择，可使 CHARON2 系统在性能上进行扩展，以最好地满足目标规格。 CHARON2 在现场运行的平台超过 3000 台，可满足所有半导体应用以及医疗、制药或材料科学等其他市场的许多用例。 凭借电机、电子和控制方面的专有 ...
重复精度: 0.5 µm
载荷: 0 g - 5,000 g
运行行程: 10 mm
... MAUKA 是一种结构紧凑的六脚架，设计用于以亚微米级分辨率定位重达 5 公斤的有效载荷。 MAUKA 六脚架的 X 和 Y 移动范围为 10 毫米，Z 移动范围为 20 毫米，三个旋转角度为 16°。其直径为 107 毫米，中间位置高度为 198 毫米。 为了尽量减小直径，我们采用了六滑轮几何结构，其中电机安装在一条直线上。 MAUKA 六角脚架可以在任何方向上运行：垂直、水平或任何其他角度。它是不可逆的，即使在断电后也是如此。 由于采用了绝对线性编码器，因此每次重新打开控制器时都无需执行归位指令，而是立即知道六脚架的位置，无需进行任何六脚架运动。 ...
SYMETRIE
... 快速3轴超高压系统LA80-LA90 UV / UHV / EUV，最大。500毫米行程，2微米重复性，5公斤负载 这种快速转移平台适用于超高真空中精确、快速和长寿命的应用。由于其极低的发射量和低颗粒数，它也符合在极端紫外线辐射下使用的要求。该轴的尺寸为LA80、LA95、LA170，在垂直操作中可承受高达20公斤的载荷。该轴组合是作为 "tOMography Nano crYo (OMNY)" mit dem Paul Scherrer Institut (PSI)的一部分开发的。 超高真空下的精确、快速和耐用 - ...
... 8 站半导体晶圆指数仪 本系统专门设计用于在高温下对 2 ″ 或 3 ″ 半导体晶圆进行离子束处理。 它由一个带有高精度直流电源和分位系统的台式炉组成。分位系统可精确控制晶圆位置，并允许每次运行 8 个晶圆的批量处理。 晶圆旋转到加热器上，在离子束处理开始前几秒钟内进行加热。 温度由读取加热晶圆表面温度的光学高温计控制。 大接入端口允许连接离子束仪器。 炉子是一个完整的转钥匙系统，配备真空系统、惰性气体系统、分度伺服控制、温度控制和水冷系统。 ...