真空定位系统

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多轴定位系统
多轴定位系统
Robocup

... 在轮廓加工机的工作台上自动夹持板材工件的系统 在加工过程中用于夹紧工件的真空吊舱不需要飞行的柔性软管,因为它们与配备有智能阀门的特殊工作台对接,这些阀门根据机器周期进行控制。 ...

多轴定位系统
多轴定位系统
FTL40-H1

... 技术特点】 FSL40直线导轨为半密封结构,机身宽度为40mm,稳定性高,结构紧凑,功能多样,适用于一般的工作环境,便于使用单轴或多轴组装,便于各行业的功能使用的机械臂。 应用范围 精确定位、点胶、喷漆、视觉检测、移动、抓取、切割和焊接、自动装配、自动锁螺丝、码垛等。如:。PCB板检测、光盘堆放装置、零件取放。 系列。FSL40 行程范围。100mm~1000mm 位置精度: 0.05mm 最大速度:250mm/s 最大载荷:25kg 滚珠丝杠。G1204/G1605/G1610 ...

多轴定位系统
多轴定位系统
FTS40XYZ-L

... 线性模块主要用途: 直线导轨轴承广泛应用于电子设备、拉伸试验机和数字三维坐标测量设备、精密设备、多轴机床、压力机、工具磨床、自动气体切割机、打印机、卡片分拣机,食品包装机等工业机械滑动部件。 【技术特点】 FSL40 直线导轨是半密封机结构,车身宽度 40mm,稳定性高,结构紧凑,多功能性特点,适用于正常工作环境,方便使用单轴或多轴组装方便的功能性使用机器人臂适用于各种行业。 【应用范围】 精确定位、点胶、喷漆、目视检测、移动、抓取、切割焊接、自动装配、自动锁定螺丝、码垛等,如 ...

XYZ轴定位系统
XYZ轴定位系统

EUV,除气、泵送时间、稳定性和磁扰是在真空系统布置过程中考虑的主要参数。此外,针对您要求严苛的环境和性能,提供与完美的运动解决方案相关的所有其他关键参数。 我们的系统专门开发而成,可通过集成从直线电机(包括特定屏蔽)至压力驱动装置和特殊线缆的特定组件,在 10^9mbar 的分压条件下运行。 所有相关的机械部件(铝和/或 SUS)均为内部生产,以保持清洁度并完美控制除气过程。 所有的真空系统都在我们的洁净室内进行装配、测试和包装,经特别设计可满足您的生产节奏需求 “大尺寸格式系统”兴趣点*的典型规格 配置:XYZ ...

6轴定位系统
6轴定位系统
TRIPOD 52-6DoF

... TRIPOD 52-6DoF与CLS-52模块系统兼容,包括一个尖端倾斜台,就像其较大的同类产品TRIPOD 92-6DoF一样。 三个炮塔的安排允许顶板在Θx的±8.5°、Θy的±9.5°范围内进行滚动和俯仰运动,并在Z方向进行5毫米的线性平移。顶板包括一个SR-3211旋转平台的安装槽,为设置增加了第四个自由度。相反,底板允许直接安装到面包板或一个由两个CLS-52线性DeepL 平移组成的XY平台。后面的可能性产生一个5D或与SR-3211一起产生一个6D定位系统。 机械性能 行程[毫米] ...

门式定位系统
门式定位系统
BSMAE-F120L-1000X1000X100

... 带精密滚珠丝杠的扁平电动执行机构在一个非常紧凑、扁平的单元中提供出色的精度、可重复性和超精细定位分辨率,可达 1 微米。 它们是光学、激光和真空操作等空间关键型应用的理想选择。 ...

XYZ轴定位系统
XYZ轴定位系统
BSMAE-F80L-300X300X300

高真空定位系统
高真空定位系统
LA80-2LA95

... 快速3轴超高压系统LA80-LA90 UV / UHV / EUV,最大。500毫米行程,2微米重复性,5公斤负载 这种快速转移平台适用于超高真空中精确、快速和长寿命的应用。由于其极低的发射量和低颗粒数,它也符合在极端紫外线辐射下使用的要求。该轴的尺寸为LA80、LA95、LA170,在垂直操作中可承受高达20公斤的载荷。该轴组合是作为 "tOMography Nano crYo (OMNY)" mit dem Paul Scherrer Institut (PSI)的一部分开发的。 ...

XY轴定位系统
XY轴定位系统

... 8 站半导体晶圆指数仪 本系统专门设计用于在高温下对 2 ″ 或 3 ″ 半导体晶圆进行离子束处理。 它由一个带有高精度直流电源和分位系统的台式炉组成。分位系统可精确控制晶圆位置,并允许每次运行 8 个晶圆的批量处理。 晶圆旋转到加热器上,在离子束处理开始前几秒钟内进行加热。 温度由读取加热晶圆表面温度的光学高温计控制。 大接入端口允许连接离子束仪器。 炉子是一个完整的转钥匙系统,配备真空系统、惰性气体系统、分度伺服控制、温度控制和水冷系统。 ...

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