XYZ轴定位系统

线性真空

EUV，除气、泵送时间、稳定性和磁扰是在真空系统布置过程中考虑的主要参数。此外，针对您要求严苛的环境和性能，提供与完美的运动解决方案相关的所有其他关键参数。 我们的系统专门开发而成，可通过集成从直线电机（包括特定屏蔽）至压力驱动装置和特殊线缆的特定组件，在 10^9mbar 的分压条件下运行。 所有相关的机械部件（铝和/或 SUS）均为内部生产，以保持清洁度并完美控制除气过程。 所有的真空系统都在我们的洁净室内进行装配、测试和包装，经特别设计可满足您的生产节奏需求 “大尺寸格式系统”兴趣点*的典型规格 配置：XYZ 或 + Z（机架） 行程：最大 400 x 500 mm 准确度：≤ 10 µm（超过 TIR，映射） 可重复性：≤ 0,1 µm 稳定性：≤ 2 nm（在 1s ptp 内） 移动和稳定：120 ms 时 < 25 mm Cst 速率：<100mm/s 时 < 0.01% 平直度：超过 300 mm 时 < 5 µm 平整度：超过 300 mm 时 < 5 µm