3轴定位系统
门式用于检测晶片和计量

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产品规格型号

轴数量
3轴
构造
门式
应用
用于检测晶片和计量

产品介绍

我们针对要求严苛的平板显示器行业提供的解决方案涵盖从 AOI(自动光学检测仪)到照片间隔测量阵列测试器。在全球范围内共安装了 800 多套系统。部分系统在亚洲直接生产和装配 为了减少总拥有成本,SCHNEEBERGER 创新地使用了花岗岩替代品:矿物铸件。 其高阻尼结构有助于优化总的系统重量,从而减少处理和运输成本。 了解有关矿物铸件的更多内容… “大尺寸格式系统”兴趣点*的典型规格 配置:XYZ 或 + Z(机架) 行程:最大 3500 x 2700mm 准确度:≤ 10 µm(超过 TIR,映射) 可重复性:≤ 2 µm 稳定性:≤ 10 nm(在 1s ptp 内) 移动和稳定:300mm 时 < 500ms Cst 速率:<100mm/s 时 < 0.01% 平直度:超过 3000mm 时 < 20um 平整度:超过 3000mm 时 < 20um

PDF产品目录

展厅

该卖家将出席以下展会

Global Industrie 2024
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25-28 3月 2024 Par&#237;s Villepinte (法国) 展台 5G166

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    BIEMH 2024
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    3-07 6月 2024 Bilbao (西班牙) 展会 2 - 展台 G-07

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    * 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。