多轴定位系统

自动半导体工业高精度

如果您的请求来自前、后端，则独立，我们可提议您采用正确的定制解决方案，以满足您具有挑战性的要求。 25 年来，我们的团队与 SEMI 市场的最大合作伙伴携手，可满足非常短的开发时间和生产上升/下降等需求。 我们在纳米稳定性和毫秒运动与稳定次数方面无可比拟。我们完全明白您的需求，并针对性地制定完全集成的运动解决方案。 “半导体”兴趣点*的典型规格 配置：XYTZ 或 + Z 行程：最大 600 x 750mm（450mm 晶片） 精确度：≤ 1 µm（超过 TIR，映射） 可重复性：≤ 0.1 µm 稳定性：≤ 2 nm（1s ptp 之内） 运动与稳定：25mm 时 < 100ms Cst 速率：<100mm/s 时 < 0.01% 平直度：超过 TIR 时 < 5um 平坦度：超过 TIR 时 < 5um