XYZ轴定位系统

自动高精度

太阳能解决方案 SCHNEEBERGER 提供的超高精度运动平台帮助您提高平板效率关键词重点是尽量减少接头或死区，以最大限度地提高您的性能。 如果是薄膜或晶体技术，则独立，我们以最高的精度为您移动基质和/或加工头提供最佳的解决方案。 “太阳能”兴趣点*的典型规格 配置：Y（机架）+ xX + Z 行程：最大 3500 x 2700mm 准确度：≤ 10 µm（超过 TIR，映射） 可重复性：≤ 2 µm 稳定性：不相关（动态补偿） 移动与稳定：300mm 时 < 500ms Cst 速率：<1000mm/s 时 < 0.01% 平直度：超过 3000mm 时 < 20um 平整度：超过 3000mm 时 < 20um