多轴定位系统 782300:212.26

线性旋转光学应用

用于光学透镜、圆柱体定位的Phi系统，如测针仪 | X直流电动机、滚珠丝杠、交叉滚子、线性测量系统 | Phi交流伺服、角度测量系统 对巨大的分辨率有很好的稳定性 该X-Phi定位系统由PMT160线性平台的高精度和耐用的标准轴以及用于旋转的DTS130-HM组成。它是测量应用的理想选择，在这种应用中，试样被精确地移动到测量位置，因此不需要额外的进给轴。 高度精确和可靠的测量结果 - 非常适合于圆形部件的光学测量，例如晶圆、光学器件 - 由于带有行程的高精度旋转运动，省去了额外购买装载轴的费用 - 重复精度高达0.0017 - 精确移动1.9微米，以X为单位进入测量位置 可选择配置。 - 行程可达300毫米 - 底板由花岗岩或铝制成 - 可提供内部刻度（270毫米）。 - 可与其他旋转平台组合，如DT200。 - 可用于洁净室ISO 14644-1的版本 - 可通过预配置的控制器（包括示范性软件）立即使用