3轴定位系统 782300:113.26XYZ轴线性用于检测晶片和计量
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产品规格型号
- 轴数量
- 3轴, XYZ轴
- 构造
- 线性
- 应用
- 用于检测晶片和计量
- 其他特性
- 组合模块, 直流电动机, 高解析度, 滚珠丝杠, 带控制器
- 传送速度
25 mm/s
产品介绍
用于实验室和晶圆检测的XYZ系统｜滚珠丝杠、直流电动机、交叉滚子、线性测量系统
高精度和模块化的3轴系统
这个XY组合带有独立的Z-垂直单元，由PMT160的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美的平面度、最小的俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。该XYZ系统可随时使用控制器以及软件，并以可靠的参数运行。
灵活，即时操作和测试
- 是设置和扩大应用的理想选择
- 高精度的重复性可达 0.5 µm
- 在相对较高的50毫米/秒的定位速度下，步骤最小，可靠性最高
- 完美的平面度为±1，用于定位高达150N的中等载荷
可选的可扩展性。
- 每个轴的不同行程为50 - 300 mm
- 与DT130或DT200结合的旋转运动
- 各种各样的电机变体。直流电动机、步进电动机、直线电动机和纳米电动机
- 可立即使用预先配置好的控制器，包括示范性的软件
- 适用于洁净室ISO 14644-1的版本
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