直流电动机定位系统

重复精度: 0.5 µm - 2 µm
运行行程: 100 mm - 600 mm
传送速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... XYZ 通用龙门架 可定制 - 适用于高精度、高空运动的各种任务 - 600 x 600 x 100 毫米的超大移动范围 - 高精度定位，重复精度高达 0.5 微米，结果可靠一致 - 加速小样品的吞吐时间，最高可达 2 m/s2，特别是在需要频繁启停的阶段 - 在参数可变的情况下，通过空气轴承实现低维护和灵活的全天候运行 Z 轴上的定制加工头或传感器在试样载体上移动速度极快。由于移动距离高达 600 毫米，因此可以处理或检测大量试样。由于采用了龙门式设计，因此可以轻松实现与循环线的集成以及多个龙门的排列。 规格 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... 用于检测的 XYZ 龙门架 可定制 - 适用于 450 x 1000 x 1000 毫米以下大型部件的高精度检测 - 由于具有极高的刚性，分辨率可达纳米级 - 可根据客户要求的显微镜、相机或传感器进行个性化调整 - 出色的高产能，速度高达 2420 毫米/秒 - 在参数可变的情况下，通过空气轴承实现低维护和灵活的全天候运行 该 XYZ 定位系统适用于 450 x 1000 x 1000 毫米以上的大型高样品的高精度测量。可在 Z 轴上安装定制的显微镜、照相机或传感器，通过 ...

重复精度: 0.2 µm - 2 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 10 mm - 600 mm

... 带光圈的 XY-2Z 4 轴龙门架 可定制 - 连续运动中点差高度测量的理想之选 - 用于 70 x 100 毫米孔径的双面 Z 传感器定位器 - 减震设计，具有出色的加工值，重复性可达 1µm - 减少因空气承载样品架而产生的废气排放 - 出色的使用寿命和全天候免维护运行 该 XYZ 龙门定位系统可实现高精度的双边检测过程，每个检测过程可配备 2 个定制传感器/显微镜，用于不同的计量应用。第一个 Z 轴位于固定横梁上，第二个传感器/显微镜安装在光圈下方的 Z ...

重复精度: 0.01 µm - 2.5 µm
传送速度: 5 mm/s - 35 mm/s

... 可定制： - 是医学、生物技术和半导体技术领域开发和设置高精度 3D 流程的理想之选 - 微米范围内的稳定性带来超精细的细节成像和更高的变焦水平 - 循环时间短，速度高达 35 毫米/秒 - 结果重复性极高，可达 2.5 µm，旋转运动精度可达 0.02° - 采用长期可靠的标准轴，维护成本低，使用寿命超长 这种 9 轴定位系统可以在显微镜或高分辨率相机下从所有可能的角度观察样品，例如注射喷嘴、支架、小型切割工具、插管和其他旋转对称部件。该系统由 KLT310 ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
载荷: max 30.0 kg
运行行程: 100 mm - 200 mm

... 用于可变负载和移动负载的 XYZ 测量系统 可定制： - 工件测量或捕捉高工件三维轮廓的理想之选 - 不受载荷影响的高精度测量，即使是移动物体也能达到 ± 1 µm - 测量误差大幅降低至 5 µrad 以下 - 完美的直线度为 ± 0.5 µm，平面度为 ± 1 µm - 独立于平面度的接口和调整可能性 该 XYZ 定位系统专为高精度测量可变载荷和移动物体而设计。如果需要连续测量不同重量级别的物体，传统的测量平台很快就会达到极限。 规格 - 行程：200 毫米（XY）/ ...

重复精度: 0.3 µm - 0.5 µm
运行行程: 50 mm - 200 mm
传送速度: 30 mm/s

... 用于高精度自动光学检测的 XYZ 定位系统 可定制： - 高精度自动化检测过程的理想选择 - 重复精度高达 0.3 µm - 测量误差降至 3 µm 以下 这种三轴定位系统是专为高精度测量应用而开发的，在这种情况下，XY 平台将被测物体移动到 Z 轴上的传感器或照相机时，俯仰和偏航误差极小。例如，在测量部件或记录三维轮廓（即使是高部件）时就是如此。 规格 - 标准系统：KT310-DC (XY) / PMT160-DC (Z) - 行程：200 毫米（XY）/ ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
运行行程: 100 mm - 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 带控制器的 XYZ 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.3 微米 - 以 30 mm/s 的相对较高定位速度实现最小步距和最高可靠性 - ± 1 的完美平面度，可定位高达 150 N 的中等载荷 该 XY 组合带有独立的 Z 垂直单元，由 PMT160 的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - 标准系统：PMT160-SM (XYZ) - 行程：200 ...

重复精度: 2 µm
运行行程: 65 mm
传送速度: 25 mm/s

... XY 实验室分析系统，带传感器支架和带孔径的 XY 平台 可定制： - 是设置和扩展高分辨率分析、扫描、显微镜检查和测量任务的理想之选 - 传感器或照相机附件 - 重复精度高达 2 微米 - 微米稳定性，可实现最高分辨率和精细成像 - 0.3 µm 的完美平面度，可承受 5 公斤以下的中等负荷 规格 - 行程：65 毫米 (XY) - 高精度：± 2 - ± 2.5 µm (XY) - 风速： 25 mm/s (XY) - Max.最后： 45 N (XY) - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.7 µm
运行行程: 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 用于高分辨率的 XYZ 显微镜和检测站 可定制： - 样品检测的理想选择 - 重复精度高达 0.3 µm - 将测量偏差降至 3 µm 以下 该 3 轴定位系统专为高精度计量应用而设计，在该应用中，平台在 Z 轴上将待测物体移动到传感器或照相机上。xy 平台由可靠的 KT310 和直流电机组成。 规格 - 行程：200 毫米（XY）/ 200 毫米（Z） - 重复精度： ± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) - 定位速度：25 毫米/秒（XY）/15 ...

重复精度: 0.001 µm - 4.5 µm
运行行程: 50 mm - 360 mm
传送速度: 50 mm/s - 200 mm/s

... XZ-Phi 系统 可定制： - 安装高精度测量系统的理想选择 - 亚微米范围内的测量系统分辨率可达 0.1 µm / 0.0001° - 高精度重复性可达 0.3 µm - 最精细的旋转运动可达 0.001° - 维护成本低，使用寿命极长 该 X-Z-Phi 多轴定位系统由高精度和耐用的标准轴（PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM）组成，可理想地组合成高精度测量装置。对于水平运动，PMT160-300-EDLM 除了定位速度高之外，还能实现亚微米级的最小步距。 规格 - ...

... 采用不同直线电机轴的 XY 和 XZ 系统 XY 和 XZ 系统采用标准直线电机轴，是在各种自动化应用中使用的运动控制系统。这些系统之所以得名，是因为其线性电机轴的方向有利于运动。通过集成 SINADRIVES 的标准模块，我们可以构建量身定制的系统，以满足任何特定要求： ...

重复精度: 1.5, 5.5 µm
运行行程: 76 mm
传送速度: 50 mm/s

... 在尽可能小的结构空间内实现产量最大化 这个高精度的定位系统是专门为EUV光刻技术的小型化和自动化而设计的，是一个补充性的偏振过滤器。它在大约120 x 180 x 31 mm的非常有限的空间内，最大限度地提高了曝光质量以及现有晶圆步进器的产量。为此，三个可独立定位的过滤器在光学系统的光束路径上移动。它可用于极端环境条件下的高分辨率工艺，如EUV和干燥以及无氧纯氮气氛。 优化极端环境下的精度 - 是自动EUV光刻技术中小型化的理想选择 - 在最小的空间（约120 ...

重复精度: 0.3, 0.5 mm
运行行程: 100, 820 mm
传送速度: 150, 750 mm/s

... 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 自动化和低维护的24/7检查 - 是自动检测晶圆、探针卡和印刷电路板的理想选择 - 通过高达720毫米的行程同时检测多个物体 - 是同时整合两个过程的理想选择 - 由于花岗岩结构上的快速系统交换，24/7的低维护率和灵活的维护概念 可选择扩展。 - 用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - ...

重复精度: 1.5, 2.5 µm
运行行程: 50, 150 mm
传送速度: 25 mm/s

... 紫外线曝光罩的XYθ对准｜在干燥的氮气环境中进行晶圆曝光的高精度定位系统 精密组件 786001:002.26 紫外线曝光罩的XYθ对准｜用于在干燥的氮气环境中进行晶圆曝光的高精度定位系统 - 精密组件 用于极端条件下微观结构的微米级对准 这个三轴掩模系统是专门为紫外光刻的曝光掩模的高精度定位而开发的。这个定位系统有三个平行运动学设计的线性轴：两个X轴和一个Y轴。两个垂直轴同时产生垂直冲程（平等运动）和旋转（相反运动）。因此，它能够在紫外线辐射下以及在超干的氮气环境中对纳米范围的掩模进行高精度的线性和旋转定位。 ...

重复精度: 1.5, 2.5 µm

... 双XY直线轴，用于高精度调整晶圆步进机的透镜 - 洁净室中的超细紫外线曝光 - 精密装配 高精度调整两个光学器件 这种高精度的双线性轴是专门为晶圆步进机开发的。两个透镜应相对定位，也可相互配合，以便在紫外线曝光期间实现更精细的结构。这个解决方案由一个共同的导轨系统上的两个滑动轴组成。两个移动的滑动车架各有三个车架，这使得它们可以在彼此内部部分移动，以便使镜片尽可能紧密地靠在一起。 在极其干燥的环境中进行超精细成像 - 专门为最大化晶圆步进系统的产量和分辨率而开发 - ...

重复精度: 0.6, 1 µm
运行行程: 10 mm
传送速度: 25 mm/s

... 快速的短距离运动，在垂直方向上的精度很高 这种高精度的定位系统是专门为成本效益高的接触式3D打印工艺设计的。打印头由音圈驱动，因此在打印过程中，样品被高度动态和精确地定位，与载体的距离最小。因此，最小的介质可以以极快的运动定位在载体上，不受粘度的影响，具有很高的精度，并且不会损坏它们。一个几乎是阿贝式排列的线性测量系统可以实现1微米的重复性，如果需要的话，可以达到更好的重复性。 高度精确且与粘度无关的3D打印 - 是成本优化的接触式3D打印的理想选择 - ...

... 适用于12英寸晶圆、印刷电路板的XYZ Phi检查系统（洁净室ISO 2） - 检查和微镜检查 带有洁净室外壳的通用4轴花岗石龙门架 该XYZ Phi定位系统可用于半导体和电子制造业的各种测试和检测过程，洁净室等级可达ISO 2。由于在XY方向的行程设计高达320 x 320毫米，它适用于所有标准的晶圆尺寸，最大可达12英寸。使用线性马达驱动的KT405-320-EDLM机械平台，样品在Z轴上被高精度地操纵到激光、传感器或照相机上。用PMT160-050-DC-R/L精密测量平台调整传感器或照相机的垂直运动（最大50毫米），该平台可以选择补充一个旋转单元。 在苛刻的洁净室中进行高精度测试 - ...

... 从各个角度进行自动和高分辨率的成像 这个9轴定位系统使得在显微镜或高分辨率相机下从所有可能的角度观察样品成为可能，如注射喷嘴、支架、小型切割工具、套管和其他旋转对称的部件。它由KLT310与PMT160的XYZ的坚固和刚性的标准组件组成，不同类型的显微镜可以连接到它上面。轻巧、紧凑和稳定的KT180 XY偏移台用于旋转轴，上面还有一个带旋转轴和安装卡盘的旋转轴。 即使加工时间短，也能实现超精细的细节 - 是开发和设置医学、生物技术和半导体技术中高精度三维工艺的理想选择 - ...

传送速度: 30 mm/s

... 用于多种测量任务的高精度检测系统 这个三轴定位系统是为高精度的计量应用而设计的，在Z轴上，平台将待测物移动到传感器或相机上。xy平台由可靠的KT310组成，采用直流电机设计。它的概念是内部电机、交叉滚柱导轨和高精度滚珠丝杠，在优化利用安装空间的同时实现了卓越的精度。 高度精确和一致的测量结果 - 是自动化样品检测的理想选择 - 高精度的重复性可达 0.3 µm - 测量偏差减少到3微米以下 可选择扩展。 - 各种行程可达200毫米 - 带/不带花岗岩底座 - ...

传送速度: 30 mm/s

... 用于多种测量任务的高精度检测系统 这个三轴定位系统是为高精度的计量应用而设计的，平台在Z轴上把要测量的物体移动到传感器或相机上。xy平台由可靠的KT310组成，采用直流电机设计。它的概念是内部电机、交叉滚柱导轨和高精度滚珠丝杠，在优化利用安装空间的同时实现了卓越的精度。 高度精确和一致的测量结果 - 是自动化样品检测的理想选择 - 高精度的重复性可达 0.3 µm - 测量偏差减少到3微米以下 可选择扩展。 - 各种行程可达200毫米 - 带/不带花岗岩底座 - ...

... XZ-Phi系统 | X直线电机，滚珠丝杠 | Z直流电机，交叉滚子 | Phi扭矩电机 带衬垫轴和旋转台的高精度测量系统 这个X-Z-Phi多轴定位系统由高精度和耐用的标准轴（PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM）组成，它们可以理想地组合成一个高精度测量装置。对于水平运动，PMT160-300-EDLM除了具有较高的定位速度外，还能实现亚微米范围内的最小步长。为了充分利用直线光栅尺的精度，它与被测距离保持一致（阿贝的比较器原理）。栅尺与转台分开，在转台前的径向上位于待测工件的高度。 ...

重复精度: 0.5, 0.15, 0.25, 0.1 µm
载荷: 30 kg
运行行程: 27.5, 25, 14 mm

... - 执行器分辨率为8纳米 - X、Y和Z方向的最小增量运动为0.25 µm - 无刷直流电机和绝对编码器 六个自由度的平行机械式设计，使其比串行机械式系统明显更紧凑、更坚硬，动态范围更高，没有移动的电缆。更高的可靠性，减少摩擦。 绝对编码器 绝对编码器提供明确的位置信息，能够立即确定位置。这意味着在开启时不需要参考，这提高了操作过程中的效率和安全性。 无刷直流电动机(BLDC) 无刷直流电动机特别适用于高旋转速度。它们可以被非常精确地控制，并确保高精度。因为它们省去了滑动触点，所以运行平稳，无磨损，从而实现了长寿命。 应用的领域 研究和工业。用于微组装、生物技术、半导体制造、光学校准。 ...