直流电动机定位系统

重复精度: 0.5 µm
载荷: 0 g - 5,000 g
运行行程: 10 mm

... MAUKA 是一种结构紧凑的六脚架，设计用于以亚微米级分辨率定位重达 5 公斤的有效载荷。 MAUKA 六脚架的 X 和 Y 移动范围为 10 毫米，Z 移动范围为 20 毫米，三个旋转角度为 16°。其直径为 107 毫米，中间位置高度为 198 毫米。 为了尽量减小直径，我们采用了六滑轮几何结构，其中电机安装在一条直线上。 MAUKA 六角脚架可以在任何方向上运行：垂直、水平或任何其他角度。它是不可逆的，即使在断电后也是如此。 由于采用了绝对线性编码器，因此每次重新打开控制器时都无需执行归位指令，而是立即知道六脚架的位置，无需进行任何六脚架运动。 ...

重复精度: 0.08 µm
载荷: 1,000,000 g

... 从可行性研究到维护，SYMETRIE 运用其在计算、电动化、校准和软件方面的技能，为您提供量身定制的解决方案，以满足您需要精密定位、计量和动力学知识的特定项目的要求。 根据您的要求，我们设计室的工程师会设计出创新、经济的多轴解决方案。 在整个项目过程中，我们的团队将对每一步进行管理，以便为您提供高质量的后续服务，最终使系统满足您在技术、经济和时间安排方面的所有要求。 ...

重复精度: 0.5 µm - 2 µm
运行行程: 100 mm - 600 mm
传送速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... XYZ 通用龙门架 可定制 - 适用于高精度、高空运动的各种任务 - 600 x 600 x 100 毫米的超大移动范围 - 高精度定位，重复精度高达 0.5 微米，结果可靠一致 - 加速小样品的吞吐时间，最高可达 2 m/s2，特别是在需要频繁启停的阶段 - 在参数可变的情况下，通过空气轴承实现低维护和灵活的全天候运行 Z 轴上的定制加工头或传感器在试样载体上移动速度极快。由于移动距离高达 600 毫米，因此可以处理或检测大量试样。由于采用了龙门式设计，因此可以轻松实现与循环线的集成以及多个龙门的排列。 规格 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... 用于检测的 XYZ 龙门架 可定制 - 适用于 450 x 1000 x 1000 毫米以下大型部件的高精度检测 - 由于具有极高的刚性，分辨率可达纳米级 - 可根据客户要求的显微镜、相机或传感器进行个性化调整 - 出色的高产能，速度高达 2420 毫米/秒 - 在参数可变的情况下，通过空气轴承实现低维护和灵活的全天候运行 该 XYZ 定位系统适用于 450 x 1000 x 1000 毫米以上的大型高样品的高精度测量。可在 Z 轴上安装定制的显微镜、照相机或传感器，通过 XYZ 悬挂运动测量样品。这样就可以在纳米范围内进行高分辨率成像，并实现二维和三维成像的多种测量功能。 规格 - ...

重复精度: 0.2 µm - 2 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 10 mm - 600 mm

... 带光圈的 XY-2Z 4 轴龙门架 可定制 - 连续运动中点差高度测量的理想之选 - 用于 70 x 100 毫米孔径的双面 Z 传感器定位器 - 减震设计，具有出色的加工值，重复性可达 1µm - 减少因空气承载样品架而产生的废气排放 - 出色的使用寿命和全天候免维护运行 该 XYZ 龙门定位系统可实现高精度的双边检测过程，每个检测过程可配备 2 个定制传感器/显微镜，用于不同的计量应用。第一个 Z 轴位于固定横梁上，第二个传感器/显微镜安装在光圈下方的 Z 轴上。气浮样品架将样品沿 XY ...

... 采用不同直线电机轴的 XY 和 XZ 系统 XY 和 XZ 系统采用标准直线电机轴，是在各种自动化应用中使用的运动控制系统。这些系统之所以得名，是因为其线性电机轴的方向有利于运动。通过集成 SINADRIVES 的标准模块，我们可以构建量身定制的系统，以满足任何特定要求： ...

重复精度: 1.5, 5.5 µm
运行行程: 76 mm
传送速度: 50 mm/s

... 在尽可能小的结构空间内实现产量最大化 这个高精度的定位系统是专门为EUV光刻技术的小型化和自动化而设计的，是一个补充性的偏振过滤器。它在大约120 x 180 x 31 mm的非常有限的空间内，最大限度地提高了曝光质量以及现有晶圆步进器的产量。为此，三个可独立定位的过滤器在光学系统的光束路径上移动。它可用于极端环境条件下的高分辨率工艺，如EUV和干燥以及无氧纯氮气氛。 优化极端环境下的精度 - 是自动EUV光刻技术中小型化的理想选择 - 在最小的空间（约120 x 180 x 31 mm）内最大限度地提高现有晶圆步进系统的产量和分辨率 - ...

重复精度: 1.5, 2.5 µm
运行行程: 50, 150 mm
传送速度: 25 mm/s

... 紫外线曝光罩的XYθ对准｜在干燥的氮气环境中进行晶圆曝光的高精度定位系统 精密组件 786001:002.26 紫外线曝光罩的XYθ对准｜用于在干燥的氮气环境中进行晶圆曝光的高精度定位系统 - 精密组件 用于极端条件下微观结构的微米级对准 这个三轴掩模系统是专门为紫外光刻的曝光掩模的高精度定位而开发的。这个定位系统有三个平行运动学设计的线性轴：两个X轴和一个Y轴。两个垂直轴同时产生垂直冲程（平等运动）和旋转（相反运动）。因此，它能够在紫外线辐射下以及在超干的氮气环境中对纳米范围的掩模进行高精度的线性和旋转定位。 ...

重复精度: 1.5, 2.5 µm

... 双XY直线轴，用于高精度调整晶圆步进机的透镜 - 洁净室中的超细紫外线曝光 - 精密装配 高精度调整两个光学器件 这种高精度的双线性轴是专门为晶圆步进机开发的。两个透镜应相对定位，也可相互配合，以便在紫外线曝光期间实现更精细的结构。这个解决方案由一个共同的导轨系统上的两个滑动轴组成。两个移动的滑动车架各有三个车架，这使得它们可以在彼此内部部分移动，以便使镜片尽可能紧密地靠在一起。 在极其干燥的环境中进行超精细成像 - 专门为最大化晶圆步进系统的产量和分辨率而开发 - 在350毫米的移动距离内，镜头相互之间以及相互之间的同时定位 - ...

重复精度: 0.6, 1 µm
运行行程: 10 mm
传送速度: 25 mm/s

... 快速的短距离运动，在垂直方向上的精度很高 这种高精度的定位系统是专门为成本效益高的接触式3D打印工艺设计的。打印头由音圈驱动，因此在打印过程中，样品被高度动态和精确地定位，与载体的距离最小。因此，最小的介质可以以极快的运动定位在载体上，不受粘度的影响，具有很高的精度，并且不会损坏它们。一个几乎是阿贝式排列的线性测量系统可以实现1微米的重复性，如果需要的话，可以达到更好的重复性。 高度精确且与粘度无关的3D打印 - 是成本优化的接触式3D打印的理想选择 - 定位精度极高，可达 0.6 微米 - ...

... 适用于12英寸晶圆、印刷电路板的XYZ Phi检查系统（洁净室ISO 2） - 检查和微镜检查 带有洁净室外壳的通用4轴花岗石龙门架 该XYZ Phi定位系统可用于半导体和电子制造业的各种测试和检测过程，洁净室等级可达ISO 2。由于在XY方向的行程设计高达320 x 320毫米，它适用于所有标准的晶圆尺寸，最大可达12英寸。使用线性马达驱动的KT405-320-EDLM机械平台，样品在Z轴上被高精度地操纵到激光、传感器或照相机上。用PMT160-050-DC-R/L精密测量平台调整传感器或照相机的垂直运动（最大50毫米），该平台可以选择补充一个旋转单元。 在苛刻的洁净室中进行高精度测试 - ...

传送速度: 30 mm/s

... 用于多种测量任务的高精度检测系统 这个三轴定位系统是为高精度的计量应用而设计的，在Z轴上，平台将待测物移动到传感器或相机上。xy平台由可靠的KT310组成，采用直流电机设计。它的概念是内部电机、交叉滚柱导轨和高精度滚珠丝杠，在优化利用安装空间的同时实现了卓越的精度。 高度精确和一致的测量结果 - 是自动化样品检测的理想选择 - 高精度的重复性可达 0.3 µm - 测量偏差减少到3微米以下 可选择扩展。 - 各种行程可达200毫米 - 带/不带花岗岩底座 - 有/无振动去耦 - 步进电机、直流电机和各种测量系统的分辨率 - ...

... XZ-Phi系统 | X直线电机，滚珠丝杠 | Z直流电机，交叉滚子 | Phi扭矩电机 带衬垫轴和旋转台的高精度测量系统 这个X-Z-Phi多轴定位系统由高精度和耐用的标准轴（PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM）组成，它们可以理想地组合成一个高精度测量装置。对于水平运动，PMT160-300-EDLM除了具有较高的定位速度外，还能实现亚微米范围内的最小步长。为了充分利用直线光栅尺的精度，它与被测距离保持一致（阿贝的比较器原理）。栅尺与转台分开，在转台前的径向上位于待测工件的高度。 ...

... XYZ龙门架，用于检测大型部件，最大尺寸为450 x 1000 x 1000 mm | XY线性马达，空气轴承 | Z滚珠丝杠，DC马达 大型和高大部件的超精确测量 这个XYZ定位系统适用于450 x 1000 x 1000 mm以上的大型和高大样品的高精度测量。它设置在地面上，可以用升降车装载。一个定制的显微镜、照相机或传感器可以连接到Z轴上，用XYZ的高空运动测量样品。这可以实现纳米范围内的高分辨率成像，以及二维和三维成像的众多测量功能。 可灵活地适应个别过程 - 是对450 ...

重复精度: 0.3 mm

... 用于可变和移动负载的XYZ测量系统 | XYZ滚珠丝杠、交叉滚子、直流电机、线性测量系统 即使是可变载荷的高精度测量 该XYZ定位系统是专门为可变载荷和移动物体的高精度测量而设计的。如果必须一个接一个地测量不同重量等级的物体，传统的测量平台很快就会达到其极限。这个XYZ测量系统为这个问题提供了一个解决方案。 完美的平面度和直线度，适用于30公斤以下的样品 - 是部件测量或捕获高大部件的三维轮廓的理想选择 - 不受载荷影响的高精度测量，±1微米，即使有移动的物体也是如此 - ...

... 用于光学透镜、圆柱体定位的Phi系统，如测针仪 | X直流电动机、滚珠丝杠、交叉滚子、线性测量系统 | Phi交流伺服、角度测量系统 对巨大的分辨率有很好的稳定性 该X-Phi定位系统由PMT160线性平台的高精度和耐用的标准轴以及用于旋转的DTS130-HM组成。它是测量应用的理想选择，在这种应用中，试样被精确地移动到测量位置，因此不需要额外的进给轴。 高度精确和可靠的测量结果 - 非常适合于圆形部件的光学测量，例如晶圆、光学器件 - 由于带有行程的高精度旋转运动，省去了额外购买装载轴的费用 ...