高解析度定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... 用于高动态应用的XYZ龙门架 可定制的 - 高精度和动态应用的理想选择 - 1300 x 800 mm的超大行程范围 - 高加速度和速度与高精度相结合 这种龙门架可以在1300 x 800毫米的范围内实现高动态运动。Z轴上的定制加工头或传感器在花岗岩上的载体上快速、平稳地移动。异型导轨直接安装在花岗岩上，提供最佳的运行特性，以实现巨大的可重复的亚微米结果。 规格 - 行程：800 x 1300 x 200 mm - 重复性：1 - 0.7 µm - 速度：500 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - 2个X轴，每个轴用于扫描器/显微镜，最大重量为25公斤 - ...

重复精度: 0.005 µm - 4.4 µm
载荷: 5 kg - 25 kg
运行行程: 100 mm - 365 mm

... 8轴定位系统/测角仪 可定制的 - 从不同的角度进行自动的8轴检查 - 同轴旋转系统，使摄像机/传感器/照明围绕一个共同的中心点旋转 - 是检测显示器的理想选择 这个8轴定位系统能够分析和检查不同的样品几何形状和其他部件。两个摄像头/传感器都可以在样品上倾斜并调整高度。此外，样品载体可以平行于测量面倾斜，以补偿各个样品之间的差异。XY Rz定位允许定制相机从空间辐射模式的任何角度对样品进行评估。 规格 - 行程：3° x 3° x 365° x 365 mm ...

重复精度: 2 µm
运行行程: 65 mm
传送速度: 25 mm/s

... XY 实验室分析系统，带传感器支架和带孔径的 XY 平台 可定制： - 是设置和扩展高分辨率分析、扫描、显微镜检查和测量任务的理想之选 - 传感器或照相机附件 - 重复精度高达 2 微米 - 微米稳定性，可实现最高分辨率和精细成像 - 0.3 µm 的完美平面度，可承受 5 公斤以下的中等负荷 规格 - 行程：65 毫米 (XY) - 高精度：± 2 - ± 2.5 µm (XY) - 风速： 25 mm/s (XY) - Max.最后： 45 N (XY) - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.7 µm
运行行程: 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 用于高分辨率的 XYZ 显微镜和检测站 可定制： - 样品检测的理想选择 - 重复精度高达 0.3 µm - 将测量偏差降至 3 µm 以下 该 3 轴定位系统专为高精度计量应用而设计，在该应用中，平台在 Z 轴上将待测物体移动到传感器或照相机上。xy 平台由可靠的 KT310 和直流电机组成。 规格 - 行程：200 毫米（XY）/ 200 毫米（Z） - 重复精度： ± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) - 定位速度：25 毫米/秒（XY）/15 ...

重复精度: 0.002 µm - 2.4 µm
运行行程: 135 mm
传送速度: 10 mm/s - 50 mm/s

... 用于光学透镜、圆柱体定位的 X Phi 系统 可定制： - 圆形部件（如晶片、光学元件）光学测量的理想选择 - 通过高精度的行程旋转运动，节省了额外购买加载轴的费用 - 重复精度高达 0.0017 - 通过 X 精确移动 1.9 µm 至测量位置 该 X-Phi 定位系统由高精度、耐用的 PMT160 线性平台标准轴和 DTS130-HM 旋转轴组成。它非常适用于将试样精确移动到测量位置的测量应用，因此无需额外的进给轴。 规格 - 标准系统：PMT160-DC ...

重复精度: 0.3 µm - 1.7 µm
运行行程: 100 mm - 300 mm
传送速度: 25 mm/s

... 用于检验和质量控制的 XYZ 系统 可定制： - 极高的跳动精度和重复精度，可达 0.3 µm - 使用经济高效的驱动装置，可定位高达 150 N 的负载 - 最高 50 mm/s 的高速度 - 将随机误差降至最低 - 易于集成，可与现有的摄像系统和传感器灵活组合 定位系统可沿三个线性轴定位。在该装置中，PMT160 线性平台通过转接支架安装在 KT470 十字工作台上。通过使用交叉滚轮，直线度和平面度的跳动误差很小。 规格 - 行程：300 毫米（XY）/ ...

重复精度: 0.5 µm - 1.5 µm
运行行程: 50, 150, 300 mm
传送速度: 25 mm/s

... 用于实验室和晶片检测的 XYZ 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.5 微米 - 以 50 mm/s 的相对较高定位速度实现最小步距和最高可靠性 - ± 0.5 µm 的完美平面度，可定位最大 150 N 的中等载荷 该 XY 组合带有独立的 Z 垂直单元，由 PMT160 的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - 标准组件：PMT160-DC (XYZ) - ...

重复精度: 0.4 µm - 2.2 µm
运行行程: 100 mm - 300 mm
传送速度: 1.12 mm/s - 25 mm/s

... XZ Labor- und Waferinspektion 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.4 µm - 在 50 mm/s 的相对较高定位速度下，步距最小，可靠性最高 - ± 1 的完美平面度，可定位 5 公斤以下的中等载荷 XZ 组合包括 PMT160 的高精度和耐用标准线性轴。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - 标准组件：PMT160-DC (XZ) - 行程：300 ...

重复精度: 0.3 µm - 0.5 µm
运行行程: 50 mm
传送速度: 30 m/s

... 用于实验室检测的 XYZ 定位系统 可定制： - 是设置和扩展高精度测量技术的理想之选 - 重复性极高，可达 0.3 µm - 在最高速度达 50 mm/s 的情况下，步距最小，可靠性最高 - 在定位高达 150 N 的中等载荷时，平面度达到 ± 0.5 该 XYZ 组合包括 PMT160 的高精度耐用标准线性轴，这些轴通过适配器支架安装在 KLT310 xy 平台上。这样就可以沿三个线性轴定位。 规格 - 标准组件：KT310-DC (X) / PMT160-DC ...

... 在科学和工业领域的许多应用中，样品或部件的定位需要两个以上的自由度。即使在极低的温度和狭窄的空间内，也必须以最高的精度移动有效载荷。 SmarActs 的低温定位系统具有模块化、精确、可定制和热管理等特点，可在定位或扫描任务中尽可能保持样品低温。 任何 XYZ 定位系统的核心部件都是线性平台。本例中使用的是 SLC-1720-CR。三个平台可以很容易地与支架和适配器板组合成紧凑的多轴装置，这些装置通常与客户装置中低温恒温器的冷指相连。 在设计需要在低温条件下精确运行的高分辨率定位系统时，必须确保平台的热负荷尽快转移到低温恒温器上，以减少由于平台和安装组件的热膨胀而导致的定位系统温度蠕变。 最重要的任务是将有效载荷的热量传递到安装底板，以确保作用点的温度恒定且较低。 ...