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重复精度: 0.005 µm - 4.4 µm
载荷: 5 kg - 25 kg
运行行程: 100 mm - 365 mm
... 8轴定位系统/测角仪 可定制的 - 从不同的角度进行自动的8轴检查 - 同轴旋转系统，使摄像机/传感器/照明围绕一个共同的中心点旋转 - 是检测显示器的理想选择 这个8轴定位系统能够分析和检查不同的样品几何形状和其他部件。两个摄像头/传感器都可以在样品上倾斜并调整高度。此外，样品载体可以平行于测量面倾斜，以补偿各个样品之间的差异。XY Rz定位允许定制相机从空间辐射模式的任何角度对样品进行评估。 规格 - 行程：3° x 3° x 365° x 365 mm ...
重复精度: 1.5, 2.5 µm
... 双XY直线轴，用于高精度调整晶圆步进机的透镜 - 洁净室中的超细紫外线曝光 - 精密装配 高精度调整两个光学器件 这种高精度的双线性轴是专门为晶圆步进机开发的。两个透镜应相对定位，也可相互配合，以便在紫外线曝光期间实现更精细的结构。这个解决方案由一个共同的导轨系统上的两个滑动轴组成。两个移动的滑动车架各有三个车架，这使得它们可以在彼此内部部分移动，以便使镜片尽可能紧密地靠在一起。 在极其干燥的环境中进行超精细成像 - 专门为最大化晶圆步进系统的产量和分辨率而开发 - ...
... 运动指数驱动 DR-TR 系列双轴定位系统利用我们的高容量零背隙 TMF 旋转转盘进行 180° 交换，可实现 9 弧秒的精确度，可重复性 2-3 弧秒。 TMF 分位器具有无与伦比的精度，消除了其他制造商对其 3 轴 (H 定位器) 双准轴定位系统高精度要求的射针/楔形器件的需求。 采用具有高扭矩能力的 MIDS TR 系列伺服齿轮头，用于双轴轴轴头，可在每侧高达 4000lbs 的负载和面板之间的 3 米之间进行 2 秒 180° 旋转。 TR 系列尾架具有 ...
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