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重复精度: 5, 10 µm
载荷: 4 kg - 25 kg
传送速度: 0.1 m/s - 10 m/s
... Z3TM+ 扩展了运动平台的模块组合。该模块增加了四个独立的自由度，即嵌入在放大的 Theta 空心轴内的倾角、俯仰、Theta 和 Z 轴。其中一种配置包括一个 Z 轴，该 Z 轴现在具有双叠加 Z 轴；一个细轴 (FZ) 和一个粗轴 (CZ)。通过设计，该可选模块能够完全满足先进半导体应用的晶片运动要求，从而为原始设备制造商提供适用于任何半导体技术的交钥匙解决方案。就单位体积内的功能数量而言，该产品的紧凑性创下了密度记录，而其性能则为晶圆级精度和动态设定了新的市场标准。 基于 Z3TM+ 挠性规的精细 ...
重复精度: 0.3 µm
载荷: 30 kg
运行行程: 650, 205 mm
... CHARON2 是我们最受欢迎的运动系统平台。通过其坚固可靠的堆叠结构，以及模块化和可扩展性设计，它被公认为是许多交钥匙运动解决方案的高性价比切入点。 CHARON2 系列有多种预定义配置，从单 X 轴到完整的 6 自由度 (DOF) 运动系统。从我们的标准电子元件中进行选择，可使 CHARON2 系统在性能上进行扩展，以最好地满足目标规格。 CHARON2 在现场运行的平台超过 3000 台，可满足所有半导体应用以及医疗、制药或材料科学等其他市场的许多用例。 凭借电机、电子和控制方面的专有 ...
重复精度: 0.08 µm
载荷: 1,000,000 g
... 从可行性研究到维护，SYMETRIE 运用其在计算、电动化、校准和软件方面的技能，为您提供量身定制的解决方案，以满足您需要精密定位、计量和动力学知识的特定项目的要求。 根据您的要求，我们设计室的工程师会设计出创新、经济的多轴解决方案。 在整个项目过程中，我们的团队将对每一步进行管理，以便为您提供高质量的后续服务，最终使系统满足您在技术、经济和时间安排方面的所有要求。 ...
... 用于二次加工，模块可被加工以适用于不同形状轮廓的工件 和夹紧系统。 材料:1018钢 厚度公差:10.13mm 己安装硬化处理过的定位套 不包括锁紧销 ...