高真空定位系统

重复精度: 1, 0.8 µm
载荷: 5 kg
运行行程: 5, 15 mm

... MP410-3 高真空校准器，最高 10E-6 毫巴 可定制： - 在高达 10-6 毫巴的真空中进行转移测量的理想之选 - 专为大型样品设计，孔径达 235 毫米 - 重复精度高达 1 µm，负载能力为 5 kg - 采用无间隙滚珠丝杠 1214，实现理想的力传输 - 优化的性价比，精确的操作参数 该校准器可实现平面内 15 毫米的二次平移和垂直方向上最大 ± 5 度的旋转。运动 R (Phi) 来自 XY 组合。 规格 - 标准组件：LA85 (XYRz) - ...

... 系列：FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度： 0.03mm 最大速度： 255mm/s 最大负载： 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商，成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业，已获得 ...

重复精度: 0.03 mm
载荷: 25 kg
运行行程: 50 mm - 1,000 mm

... 系列：FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度： 0.03mm 最大速度： 255mm/s 最大负载： 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商，成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业，已获得 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 20, 11 mm

... SMARPOD CLS-32配备了可更换的驱动单元，完全适用于所有的高可用性应用。 SMARPOD CLS-32是一个中型的类似六爪鱼的定位系统。该装置配备了SmarAct的可更换驱动单元（EDU），保证了压电驱动装置的简单和快速更换，而不需要完全拆卸定位装置，也不会丢失校准和位置数据。 与其他SmarAct SMARPOD一样，SMARPOD CLS-32也有高真空和超高真空版本，或由完全非磁性材料制成。 机械的 行程[-21（Θx）；24（Θy）；38（Θz） 最大。法向力[N] ...

... 快速3轴超高压系统LA80-LA90 UV / UHV / EUV，最大。500毫米行程，2微米重复性，5公斤负载 这种快速转移平台适用于超高真空中精确、快速和长寿命的应用。由于其极低的发射量和低颗粒数，它也符合在极端紫外线辐射下使用的要求。该轴的尺寸为LA80、LA95、LA170，在垂直操作中可承受高达20公斤的载荷。该轴组合是作为 "tOMography Nano crYo (OMNY)" mit dem Paul Scherrer Institut (PSI)的一部分开发的。 ...