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... XL-80系统快速、精确，而且非常轻便，因此它成为销量最好的激光校准系统丝毫不足为奇。XL-80采用先进的软件解决方案，具有优异的性能，可以帮助您显著提高企业效益。 雷尼绍设计、制造和提供激光系统已有超过25年的历史。XL-80正是多年设计和制造经验的结晶，具有真正领先的系统性能和操作优点。 ...
... RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。 特性与优点 双轴解决方案 — 双轴平面镜系统是XY平台应用的理想解决方案。 高分辨率 — 与角锥反射镜系统相比，平面镜系统还可用于要求更高分辨率的应用。 敏感环境 — 还提供低功率型号的平面镜干涉仪发射头。适合其功耗要求低于标准RLD额定值（即 < 2 W）的应用。 ...
... 白光干涉仪IMS5600-DS用于最高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估的特殊校准，可实现亚纳米分辨率的绝对测量。该干涉仪用于具有最高精度要求的测量任务，例如，在电子和半导体生产中。对于真空应用，Micro-Epsilon提供特殊的传感器、电缆和馈通附件。这些传感器和电缆在很大程度上是无颗粒的，甚至可以在UHV中使用。 该系统提供绝对测量值，因此也可用于阶梯轮廓的距离测量。由于采用了绝对测量，阶梯的采样具有很高的信号稳定性。当对移动物体进行测量时，脚跟、台阶和凹陷的高度差异因此可以被可靠地检测出来。该测量系统具有亚纳米级的分辨率，相对于测量范围而言，具有较大的偏移距离。 通过对透明物体的多峰距离测量，可同时评估多达14个距离值。例如，可以确定玻璃和承载板之间的距离。然后，控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。 IMS5600-DS干涉仪可用于真空环境和洁净室中的测量任务，干涉仪的分辨率达到亚纳米范围。 ...
MICRO-EPSILON/米铱
... 白光干涉仪用于亚微米精度的可靠厚度测量 新型 IMS5200-TH 白光干涉仪为快速、可靠的厚度测量提供了新的可能性。该控制器具有智能评估功能，可对薄至 1 µm 的透明层进行精确的厚度测量。高达 24 kHz 的测量速率使 IMS5200 型号成为工业应用的理想之选。纳米级精度，可测量薄至 1 µm 的透明层。 ...
MICRO-EPSILON/米铱
... 概述
interferoMETER IMS5400-DS 是一款用于工业环境的白光干涉仪，适用于绝对距离与位移的纳米级测量。系统在较大偏移距离下实现nanometer级绝对测量，并支持对透明或多层结构的多峰评估。
特点
- 纳米级精度的绝对距离测量，适用于阶梯轮廓检测
- 透明物体的多峰测距（MP型号可同时评估最多14个距离值）
- 紧凑且坚固的传感器，可选90°光路型号
- 测量速率高达6 kHz，适应高速工业流程
- 金属外壳控制器，采用被动冷却，可安装于DIN导轨
- 通过网页界面轻松配置（无需安装客户端软件）
- 光纤电缆最长支持10
MICRO-EPSILON/米铱
... 1. 产品简介 激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。 SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 2.产品配置 SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。 其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 二.工作原理 激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。 若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 三. ...
... 50 多年来，移相干涉仪一直是高精度表面形状计量仪器的首选技术。 这些干涉仪可快速、可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 从研究环境到广泛的工业应用，激光干涉仪都能为质量保证和生产后分析提供高水平的数据可追溯性。它们已成为制造过程中不可或缺的一部分。 Zygo 的 Qualifire 为此类仪器面临的已知挑战提供了解决方案，代表了激光干涉仪的一次飞跃。 移相干涉仪的新方法 在许多现代光学测量系统中，Fizeau 设计使用一个固定的轴上相干点光源来照亮干涉腔。 在大多数情况下，这种设计都非常有效。 ...
Zygo
... Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计，建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合，实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来，光学计量技术取得了很大的进步。 在过去，人们需要小心翼翼地控制环境的影响，才能获得可靠的测量。 如今，ZYGO 提供的技术能够在振动和空气湍流使得传统光学计量仪器很难甚至无法进行测量的恶劣环境中进行可靠的测量。 光学元件的表面形貌和平面度测量，以及光学系统和组件（如窗口、反射镜、透镜、棱镜）的波前，甚至精密加工的金属和陶瓷表面的波前测量。 标准配置包括 ...
Zygo
... 为动态测量提供可靠的计量方案 DynaFiz 动态计量干涉仪 专为在振动频繁的环境中进行可靠的干涉测量而设计；其多功能性和灵活性足以满足广泛的应用需求，包括从高端望远镜测试到主动对准光学系统的实时相位反馈等需求。 DynaFiz® 的高光效光学设计与 ZYGO 高功率 HeNe 激光源相结合，可在“冻结”振动的高摄像机快门速度下运行。这种动态能力可在对于传统的相移技术来说过于恶劣的环境中提供可靠的计量。 全相干光学设计，可实现最高的光效率，提高动态性能 具有 ZYGO 荣获专利的独特功能，在振动较常见的环境中进行测量有两种选择 ZYGO ...
Zygo
... 三束激光干涉测量系统，可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统，精度最高 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离：12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 对于导轨、测量台、显微镜和定位台、坐标测量机及机床上的长度测量和校准，以及多坐标测量而言，高精度且可靠的测量结果至关重要。 我们的通用激光干涉仪 SP 5000 NG 是满足您高精度长度测量需求的理想解决方案，并可随时通过该产品系列的其他组件进行扩展，以适应您新的测量项目。 紧凑型 SP 5000 NG 干涉仪操作简便，调整快速且简单。它能在不同的环境和操作条件下提供高精度的测量结果。借助内置传感器，干涉仪的对准过程简单、快速且非常精确。因此，可以避免因传感器对准不正确而导致的误差。 该高精度干涉仪还提供真空版本。 该激光干涉仪的设计既紧凑又坚固，外壳具有防溅水功能，光纤电缆可进行护套保护，以防止机械损坏。 集成光路方向检测功能，操作和调整简便 可使用多种光学反射器，例如三面镜、球面镜、平面镜反射器 测量反射器的允许倾斜角度可达 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... SP 15000 NG 长距离激光干涉仪专为长距离长度测量而设计，是在 SP 5000 NG 产品系列基础上进一步发展的产品。传感器头配备了额外的光学元件，可将激光束最佳地适应于大测量长度。 大型坐标测量机和机床、长线性轴以及校准距离是这款精密线性编码器的主要应用领域。在测量过程中，房间或测量位置的温度分布对测量结果的准确性起着决定性作用。 因此，对于高精度应用，我们建议将该干涉仪与我们的 LCS 精密气候测量站配合使用。 调整和操作简便 可实现高达 80 米的测量范围 丰富的触发选项 面向 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 法布里-佩罗干涉仪是一种光学干涉仪，其优势在于比其他干涉仪具有更高的精细度，尤其是与精细度仅为 2 的迈克尔逊干涉仪相比。 这样就能更精确地测量波长，分辨率也高得足以分离非常接近的线，如钠双线。 - 尺寸高 300 x 宽 130 x 深 210 - 重量：8 千克 - 材料：铝和钢 - 光轴：高 22 厘米 - 镜面直径：40 毫米 - 有效直径：38 毫米 - 反射系数：大于 97% - 平整度：Lambda/20Lambda/20 - 镜面调整：通过 3 个 120° 的螺丝 - 精度：大于 ...
OVIO INSTRUMENTS
... - 菲佐干涉仪 - 测量直径从4英寸到12英寸 - 花岗岩底座 - 被动隔振系统 - 自动干涉评估 软件 监视器上的现场图 Windows 7的软件 自动生成程序文件 二维和三维图形 不同的数据显示方式 手动/自动生成图片 选项 缩放 系统质量：.../10 高分辨率相机 ...
LT Ultra-Precision Technology GmbH
... 2100C 激光干涉仪概述 2100C 激光干涉仪取自最初设计并投入实际使用的 2100 激光干涉仪，而帕洛玛科技公司则隶属于休斯飞机工业产品部。 电线连接校准工具 2100C 激光干涉仪是通过测量微英寸运动测量超声探头偏移（或峰值振幅）的工具。 该工具最初设计用于校准帕洛玛科技公司的线材粘合系统。 由于其通用的测量质量和卓越的校准和测量精度，它已发现其他行业的用户，需要低成本替代昂贵得多的激光振动计。 导线接合机需要 校准校准校准，因为其压电驱动器随时间而变化。 如果不进行校准，电线焊机可能会遇到工艺不一致的问题。 ...
... 自由孔径为 100 毫米的 VI-direct 干涉仪可以检测直径为 25 至 100 毫米的光学器件。供货范围包括一个波长为 632.8 nm 的氦氖激光器。 通过 USB 3 端口直接连接电脑，无需图像采集器 - 高分辨率（3088x2076 像素）数码相机 - 曝光时间短，对振动不敏感 - 多种光学和机械附件 - 可在垂直、水平和倾斜角度下使用，因此可根据客户要求进行布置 - 由于设计紧凑，干涉仪可以很好地集成到与应用相关的工作站中 - 使用 INTOMATIK-S 或 INTOMATIK-N ...
MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH
... LDM600 模块设计用于共聚焦测量，基于波长 650 nm 的红色激光器和内部硅二极管检测器。 激光器和探测器通过内部 50-50 耦合器连接到两个光端口。 对于光学测量（如共聚焦显微镜部分），LDM600 还包含第二个独立的检测器端口。 所有光端口都是用于单模光纤的FC/APC连接器，检测器输出由 BNC 连接器提供。 激光功率可在每个输出端口的 500 µW 至 33 µW 之间调节。 LDM 600 模块将与 ACC100 机箱结合使用，用于电源（不包括，单独项目）。 详情请参考规格表。 ...
... 精密干涉仪 • 模式：米歇尔森、法布里-珀罗和特威曼-格林 • 大型精密光学 • 5 公斤加工铝底座， 任何干涉测量研究都不应忽视米歇尔逊干涉仪的历史重要性。 然而，在实验室中，法布里-珀罗和特威曼-格林干涉仪可以成为更重要的工具；第一种用于高分辨率光谱学，第二种用于测试和生产具有像差的光学元件，这些光学元器件可以以波长分数进行测量。 干涉仪是一种高精度移动镜面干涉仪，可用于执行米歇尔森、法布里-佩罗和特威曼-格林干涉测量。 后视镜配有拇指螺丝，因此易于设置和更改配置，包括用于空气实验折射率的真空泵。 ...
... 微米光学 FFP-SI 光纤法布里-珀罗扫描干涉仪是一种无透镜的平面法布里-珀罗干涉仪，在两个高反射多层反射镜之间采用单模光纤波导，直接沉积在光纤上。 该腔完全由光纤波导组成，允许非常宽的可能自由光谱范围 (FSRs)，无需对齐或模型匹配。 波长扫描是通过使用堆叠压电执行器对腔内的短片光纤进行轴向应变来实现的。 扫描频率达到 100 Hz 或更高，可直接测量瞬态光学现象，例如激光颤抖和抖动。 在较长时间内实现稳定和可重复的扫描，可直接测量缓慢变化的光学现象，例如激光漂移。 ...
Micron Optics
... Q2激光雷达是一款先进的干涉仪，适用于汽车、坐标测量机（CMM）、校准和OEM用途。它提供高精度测量，具有65个并行通道和一个微型扫描器。它提供计量级精度和高密度数据。测量范围可达50米，并包括自动对焦和用于对齐和记录的RGB相机。 主要特点： - 65个并行通道，实现快速数据采集。 - 计量级精度。 - 测量范围可达50米。 - 自动对焦和RGB相机，便于对齐。 - 便携且坚固的设计，适用于生产线和现场使用。 优势： - 高速、非接触测量提高效率。 - 便携性适用于各种工业环境。 - ...
... 分布式偏振串扰 (X-Talk) 分析仪 (PXA-1000) 是白光干涉仪的增强版本，旨在通过沿偏振保持 (PM) 光纤分析应力引起的偏振交叉耦合来获取空间分辨应力信息。 其正在申请专利的光学设计消除了强烈的零阶干扰，并降低了传统白光干涉仪中常见的多耦合干扰，这两种干扰都可能导致测量信号出现鬼峰值。 去除鬼峰可使 PXA-1000 明确识别实际 x-talk 峰的幅度和位置，从而实现比传统白光干涉仪更高的测量灵敏度、更高的动态范围和更高的空间测量精度。 PXA-1000 还能够将 PM 光纤本身用作检测介质，无需沿光纤放置多个光纤光栅。 ...
... MSI 50 特征 配有刚性花岗岩底座和无源空气阻尼减震器。 Z轴配置高精度径向滑轨。 B轴配置倒置干涉仪模块。 B轴配置高分辨率旋转轴，用于精确调节干涉仪单元使其垂直于基片表面。 C轴配置直接驱动旋转轴，用于旋转大口径球面和平面元件。 可选多种工件支架：筒夹夹头，三爪卡盘，HD12、HD25液压膨胀夹头。 配置OptoTech Inspect Mini EL-F Digital 2”斐索干涉仪模块。 紧凑型设计，集成计算机工作站。 操作：常规（手动）或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制。 配置OptoTech干涉仪软件μShape ...
OptoTech
... µLine® - 激光干涉仪测量系统 激光干涉仪测量系统的特点: 激光干涉仪中内置补偿单元 易编程的输入和输出端 温度、气压和湿度传感器与激光干涉仪之间是无线通信 测量速度高达6m/s 设计紧凑，便于携带 （携带箱尺寸：350 x 200 x 250mm） 二维90°角度器 （精度：5µm/m） 三维90°角度器 （精度：5µm/m – 同样适用于直线度激光测量系统） ...
... 准确性标准 您的垂直测量解决方案是 Laseruler，它以激光干涉仪为基础，精度极高。 您可以完全放心地测量精密薄膜、零件和量具的高度和厚度。 我们独有的数字干涉仪通过比较测量探头的位置和氦氖（He-Ne）激光光源的波长来测量试样的尺寸，有效地将光的波长与被测件耦合。我们获得专利的激光路径与测量轴一致，消除了阿贝偏移误差。 操作员只需按下按钮或脚踏开关，其余的工作就由仪器来完成。 Laseruler® 可测量 -薄膜厚度 -光学元件 -量块 -球/球体 -球轴承 -涂层厚度 -涂层厚度标准 -插销量规 -螺纹丝 -航空航天零件 -汽车零件 -医疗器械 Laseruler® ...
... TOPOS 干涉仪根据光的放牧率原理运行。 也可以测量较粗糙的部件的平坦度，光学平面或菲佐干涉仪没有更多的条纹图案。 计算机根据干扰模式计算测试对象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁边也可以测量抛光部件。 部件可以由多种材料组成： -金属（钢，铝，青铜，铜等） -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉仪可放置在生产线上，靠近加工机。 在整个测量区域内，绝对精度高达 0.1µm。 TOPOS 50 是一款非接触式平坦度测量仪器，用于精确制造 的表面，具有亚微米精度。 ...
Lamtech Lasermesstechnik GmbH
... 大气发射辐射度干涉仪（AERI™）是一种坚固耐用的自动探空分光辐射计系统，可在恶劣环境条件下进行无人值守操作。它能高精度地测量绝对下穿大气红外辐射度。配合专门的算法，这种遥感工具可全年昼夜工作（降水期间除外），每 8 分钟连续提供温度和湿度以及其他大气变量的概况。 应用 天气预报 云和气溶胶研究 空气质量监测（污染） 机场监测等 特点 技术成熟：一些已安装的系统已连续运行 15 年以上 辐射测量精度高，重复性好，可实现网络化运行 波长精确，光谱分辨率高 灵敏度高 快速扫描能力，可进行实时光谱处理 优点 可追溯的 ...
... 概述
HORIZON是Marposs推出的下一代干涉控制器，面向工业精密测量设计。它提供纳米级测量能力和灵活的集成选项，支持工艺优化、减少报废并加强质量控制。
主要优势
- 通过高精度反馈实现工艺优化
- 降低报废率与返工
- 纳米级分辨率提升质量控制水平
- 对不同材料和几何形状具有灵活的传感器与接口兼容性
应用
- 制造业的精密测量（半导体、3C电子、电动汽车零部件）
- 在线生产控制与实验室检测
- 对反光或透明材料的厚度与表面测量
技术规格
- 产品类型：下一代干涉控制器
- 型号：HORIZON
- 制造商：Marposs
- 测量技术：干涉法，纳米级分辨率
- 传感器兼容性：支持多种传感器和波长
- 编码器：支持最多三个编码器以实现同步多点采集
- 连接性：模拟输出、先进数字接口、支持FieldBus；USB用于数据采集和固件更新
- 同步功能：支持MASTER-SLAVE网络，用于复杂测量配置
... 为实现高精度位移测量，SmarAct 提供了 PICOSCALE 干涉仪。 一台仪器中包含 3 个平行激光干涉仪，用于 3D 测量 测量带宽高达 2.5 MHz（10 MHz 采样率），分辨率低至 1 pm1 可对大多数材料（塑料、玻璃、金属甚至水）进行测量 多种传感器头可用于不同的应用和环境（包括真空和低温环境） 可通过选配模块扩展为完整的实验室测量和控制仪器 性能久经考验，100 多家客户满意 1 在频域分析周期性位移时 工作原理 所有 PICOSCALE 产品都基于迈克尔逊干涉仪，其工作原理是使用分光镜将一束光分成两条路径，然后将光束反射到反射镜上，再重新组合产生干涉条纹。由位移或折射率变化引起的光路长度变化会改变干涉条纹，从而实现对皮米位置变化的高精度测量。 迈克尔逊干涉仪的优势 迈克尔逊干涉仪通过分光和合光来测量最小的位移、振动和折射率变化，具有纳米或亚纳米级的精度和可靠性。其多功能性、非接触式操作以及在超高真空或低温等苛刻环境中的性能，使其成为计量、光学和先进研究领域不可或缺的应用工具。 ...
... PICOSCALE 干涉仪控制器配备了窄带激光源和必要的电子设备，用于处理和分析光信号。微型传感器头可作为迈克尔逊干涉仪来捕捉这些信号。这些传感器通过多达三个通道的光纤连接到控制单元，从而实现非接触、高精度的位移测量。该系统拥有强大的固件、用户友好的软件和一系列附件，无论是在新的测量配置中还是在已有的测量配置中，PICOSCALE 干涉仪控制器都能实现无缝集成。 通道数 - 3 数据速率 [MHz] - 高达 10 测量激光波长 [nm] - 1550，激光等级 1（NIST 可追溯） 先导激光波长 ...
... 带聚焦光束的微观样品传感器头包含实际的干涉仪，并通过光纤与控制器连接。 F03传感器头包含一个迈克尔逊干涉仪，可与各种物镜结合，将测量激光束聚焦到一个微米大小的光点。这样就能以皮米级的分辨率测量微观目标的周期性位移。与PICOSCALE测振仪结合使用，该传感器头还可用于高分辨率共聚焦显微镜。 ...
... HPI-3D 线性激光测量系统是一种激光干涉仪，安装快速简便，可同时进行动态 3DOF 测量。HPI-3D 能够以非常高的速度进行测量，并以高精度返回测量结果。该设备是高精度激光干涉仪领域 20 多年经验的结晶。该干涉仪代表了激光测量领域的 "专有技术 "和最佳参数。所有这些都与最高的质量、丰富的附件和选项、易用性和紧凑性密切相关。 测量不再受限！线性测量系统 HPI-3D 优化了现代激光系统的可用参数。极高的移动速度、超高分辨率和高采样率使该设备甚至适用于非常苛刻的应用。 虽然目前还没有通用的测量设备，但 ...