菲佐干涉仪

... 50 多年来，移相干涉仪一直是高精度表面形状计量仪器的首选技术。 这些干涉仪可快速、可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 从研究环境到广泛的工业应用，激光干涉仪都能为质量保证和生产后分析提供高水平的数据可追溯性。它们已成为制造过程中不可或缺的一部分。 Zygo 的 Qualifire 为此类仪器面临的已知挑战提供了解决方案，代表了激光干涉仪的一次飞跃。 移相干涉仪的新方法 在许多现代光学测量系统中，Fizeau 设计使用一个固定的轴上相干点光源来照亮干涉腔。 在大多数情况下，这种设计都非常有效。 ...

... Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计，建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合，实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来，光学计量技术取得了很大的进步。 在过去，人们需要小心翼翼地控制环境的影响，才能获得可靠的测量。 如今，ZYGO 提供的技术能够在振动和空气湍流使得传统光学计量仪器很难甚至无法进行测量的恶劣环境中进行可靠的测量。 光学元件的表面形貌和平面度测量，以及光学系统和组件（如窗口、反射镜、透镜、棱镜）的波前，甚至精密加工的金属和陶瓷表面的波前测量。 标准配置包括 ...

... 化繁为简 – 多个表面会产生复杂的条纹图案，Verifire™ MST 采用专利的波长调制技术，可同时采集多个表面的相位数据。 提供平行窗口各表面的关键参数、透射波前以及精确的面与面之间的信息，如总厚度变化（TTV）、楔角甚至是材料不均匀性。 Verifire™ MST 通过对薄至 0.5 mm 的测试件进行精确的表面和厚度变化测量，可满足移动设备显示屏玻璃、数据存储光盘和半导体晶圆等高要求应用的需求。 Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。 主要特点 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 ...

... 非球面光学技术在成像、传感和激光系统的设计和实施方面具有显著优势，广泛应用于...和航空航天、半导体曝光和检测系统以及医疗成像系统等行业。 生产支持这些应用的非球面离不开精密计量。 毕竟，就非球面光学而言，无法测量的东西就无法制造。 Verifire Asphere+ (VFA+) 利用 Fizeau 干涉测量法的优势，为轴对称非球面提供了精确、高分辨率、快速和全孔径测量的独特组合。 VFA+ 提供了一个灵活的测量平台，只需改变透射球即可测量一系列轴对称非球面。VFA+ 配备了可选的二级平台，支持计算机生成全息图 ...

... 大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式干涉仪工作站，可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。 这款完全集成的系统易于使用，其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位，而无需定制夹具。 占地面积小，内置隔振系统，并配有控制器显示器支架，只占用很小的车间地板空间。 独立的大口径工作站，用于测量直径达 12 英寸（300 mm）的平面光学表面面形，如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。 主要特点 12 英寸（300 mm）口径，下视式立式设计，便于零件处理和对准 一站式的独立系统，包括干涉仪主机、被动隔振系统、测试件对准台和 ...

... ZYGO 的 Verifire VTS 是一个专门为球面光学器件打造的立式干涉仪工作站。 垂直向上“上视”式工作站通过重力作用将测试样件固定到位，实现快速取放测量。 集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台，即使在生产环境中也能达到最高性能。 1 米行程的电动 Z 工作台可以快速自动放置测试部件，并实现曲率半径测量。 VTS 与一系列干涉仪主机兼容，您可以根据您的生产或开发需求选择合适的性能参数。 它的占地面积小，可选配带光幕运动联锁的安全罩，该安全罩符合 CE 机器安全要求。 ...