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... XL-80系统快速、精确，而且非常轻便，因此它成为销量最好的激光校准系统丝毫不足为奇。XL-80采用先进的软件解决方案，具有优异的性能，可以帮助您显著提高企业效益。 雷尼绍设计、制造和提供激光系统已有超过25年的历史。XL-80正是多年设计和制造经验的结晶，具有真正领先的系统性能和操作优点。 ...
... 白光干涉仪IMS5600-DS用于最高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估的特殊校准，可实现亚纳米分辨率的绝对测量。该干涉仪用于具有最高精度要求的测量任务，例如，在电子和半导体生产中。对于真空应用，Micro-Epsilon提供特殊的传感器、电缆和馈通附件。这些传感器和电缆在很大程度上是无颗粒的，甚至可以在UHV中使用。 该系统提供绝对测量值，因此也可用于阶梯轮廓的距离测量。由于采用了绝对测量，阶梯的采样具有很高的信号稳定性。当对移动物体进行测量时，脚跟、台阶和凹陷的高度差异因此可以被可靠地检测出来。该测量系统具有亚纳米级的分辨率，相对于测量范围而言，具有较大的偏移距离。 通过对透明物体的多峰距离测量，可同时评估多达14个距离值。例如，可以确定玻璃和承载板之间的距离。然后，控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。 IMS5600-DS干涉仪可用于真空环境和洁净室中的测量任务，干涉仪的分辨率达到亚纳米范围。 ...
MICRO-EPSILON/米铱
... 白光干涉仪用于亚微米精度的可靠厚度测量 新型 IMS5200-TH 白光干涉仪为快速、可靠的厚度测量提供了新的可能性。该控制器具有智能评估功能，可对薄至 1 µm 的透明层进行精确的厚度测量。高达 24 kHz 的测量速率使 IMS5200 型号成为工业应用的理想之选。纳米级精度，可测量薄至 1 µm 的透明层。 ...
MICRO-EPSILON/米铱
... 概述
interferoMETER IMS5400-DS 是一款用于工业环境的白光干涉仪，适用于绝对距离与位移的纳米级测量。系统在较大偏移距离下实现nanometer级绝对测量，并支持对透明或多层结构的多峰评估。
特点
- 纳米级精度的绝对距离测量，适用于阶梯轮廓检测
- 透明物体的多峰测距（MP型号可同时评估最多14个距离值）
- 紧凑且坚固的传感器，可选90°光路型号
- 测量速率高达6 kHz，适应高速工业流程
- 金属外壳控制器，采用被动冷却，可安装于DIN导轨
- 通过网页界面轻松配置（无需安装客户端软件）
- 光纤电缆最长支持10
MICRO-EPSILON/米铱
... 1. 产品简介 激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。 SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 2.产品配置 SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。 其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 二.工作原理 激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。 若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 三. ...
... Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计，建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合，实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来，光学计量技术取得了很大的进步。 在过去，人们需要小心翼翼地控制环境的影响，才能获得可靠的测量。 如今，ZYGO 提供的技术能够在振动和空气湍流使得传统光学计量仪器很难甚至无法进行测量的恶劣环境中进行可靠的测量。 光学元件的表面形貌和平面度测量，以及光学系统和组件（如窗口、反射镜、透镜、棱镜）的波前，甚至精密加工的金属和陶瓷表面的波前测量。 标准配置包括 ...
... 非球面光学技术在成像、传感和激光系统的设计和实施方面具有显著优势，广泛应用于...和航空航天、半导体曝光和检测系统以及医疗成像系统等行业。 生产支持这些应用的非球面离不开精密计量。 毕竟，就非球面光学而言，无法测量的东西就无法制造。 Verifire Asphere+ (VFA+) 利用 Fizeau 干涉测量法的优势，为轴对称非球面提供了精确、高分辨率、快速和全孔径测量的独特组合。 VFA+ 提供了一个灵活的测量平台，只需改变透射球即可测量一系列轴对称非球面。VFA+ 配备了可选的二级平台，支持计算机生成全息图 ...
... 用于高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，例如三面镜、球面镜、平面镜反射镜 - 允许测量反射镜倾斜最大 ± 22.5°。 - 结构紧凑、坚固耐用 - 传感器外壳具有防水溅保护装置 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 符合政府标准 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 高精度和可靠的结果对于导轨、测量平台、显微镜和定位平台、三坐标测量机和机床以及多坐标测量的长度测量和校准至关重要。我们的通用型激光干涉仪 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 带两束平行测量光束的高稳定性差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热长期稳定传感器，温度灵敏度 < 20 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：21 毫米 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域（如材料特性分析）长期测量的首选。 与标准干涉仪不同，差分式激光干涉仪的参考光束从传感器头引出，与测量光束平行。这一概念使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会明显影响测量的分辨率或稳定性。这种干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内，而且由于采用了差分原理，即使在正常的实验室条件下，也能达到相当的测量或光束长度。 如果使用倾斜不变反射器进行测量，长度测量范围可达数米。干涉测量系统采用模块化设计，因此可以根据不同的测量任务进行调整。 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 用于远距离高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 长距离高精度长度测量 - 易于调整和操作 - 测量范围可达 80 米 - 设计紧凑 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 SP 15000 NG 长距离激光干涉仪是在 SP 5000 NG 产品系列的基础上专门为长距离长度测量而设计的。传感头带有附加光学镜组，可使激光束以最佳状态适应大长度测量。大型三坐标测量机和机床、长直线轴和校准距离是这种精密直线光栅的主要应用领域。 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... Q2激光雷达是一款先进的干涉仪，适用于汽车、坐标测量机（CMM）、校准和OEM用途。它提供高精度测量，具有65个并行通道和一个微型扫描器。它提供计量级精度和高密度数据。测量范围可达50米，并包括自动对焦和用于对齐和记录的RGB相机。 主要特点： - 65个并行通道，实现快速数据采集。 - 计量级精度。 - 测量范围可达50米。 - 自动对焦和RGB相机，便于对齐。 - 便携且坚固的设计，适用于生产线和现场使用。 优势： - 高速、非接触测量提高效率。 - 便携性适用于各种工业环境。 - ...
... 准确性标准 您的垂直测量解决方案是 Laseruler，它以激光干涉仪为基础，精度极高。 您可以完全放心地测量精密薄膜、零件和量具的高度和厚度。 我们独有的数字干涉仪通过比较测量探头的位置和氦氖（He-Ne）激光光源的波长来测量试样的尺寸，有效地将光的波长与被测件耦合。我们获得专利的激光路径与测量轴一致，消除了阿贝偏移误差。 操作员只需按下按钮或脚踏开关，其余的工作就由仪器来完成。 Laseruler® 可测量 -薄膜厚度 -光学元件 -量块 -球/球体 -球轴承 -涂层厚度 -涂层厚度标准 -插销量规 -螺纹丝 -航空航天零件 -汽车零件 -医疗器械 Laseruler® ...
... 概述
HORIZON是Marposs推出的下一代干涉控制器，面向工业精密测量设计。它提供纳米级测量能力和灵活的集成选项，支持工艺优化、减少报废并加强质量控制。
主要优势
- 通过高精度反馈实现工艺优化
- 降低报废率与返工
- 纳米级分辨率提升质量控制水平
- 对不同材料和几何形状具有灵活的传感器与接口兼容性
应用
- 制造业的精密测量（半导体、3C电子、电动汽车零部件）
- 在线生产控制与实验室检测
- 对反光或透明材料的厚度与表面测量
技术规格
- 产品类型：下一代干涉控制器
- 型号：HORIZON
- 制造商：Marposs
- 测量技术：干涉法，纳米级分辨率
- 传感器兼容性：支持多种传感器和波长
- 编码器：支持最多三个编码器以实现同步多点采集
- 连接性：模拟输出、先进数字接口、支持FieldBus；USB用于数据采集和固件更新
- 同步功能：支持MASTER-SLAVE网络，用于复杂测量配置
... 为实现高精度位移测量，SmarAct 提供了 PICOSCALE 干涉仪。 一台仪器中包含 3 个平行激光干涉仪，用于 3D 测量 测量带宽高达 2.5 MHz（10 MHz 采样率），分辨率低至 1 pm1 可对大多数材料（塑料、玻璃、金属甚至水）进行测量 多种传感器头可用于不同的应用和环境（包括真空和低温环境） 可通过选配模块扩展为完整的实验室测量和控制仪器 性能久经考验，100 多家客户满意 1 在频域分析周期性位移时 工作原理 所有 PICOSCALE 产品都基于迈克尔逊干涉仪，其工作原理是使用分光镜将一束光分成两条路径，然后将光束反射到反射镜上，再重新组合产生干涉条纹。由位移或折射率变化引起的光路长度变化会改变干涉条纹，从而实现对皮米位置变化的高精度测量。 迈克尔逊干涉仪的优势 迈克尔逊干涉仪通过分光和合光来测量最小的位移、振动和折射率变化，具有纳米或亚纳米级的精度和可靠性。其多功能性、非接触式操作以及在超高真空或低温等苛刻环境中的性能，使其成为计量、光学和先进研究领域不可或缺的应用工具。 ...
... HPI-3D 线性激光测量系统是一种激光干涉仪，安装快速简便，可同时进行动态 3DOF 测量。HPI-3D 能够以非常高的速度进行测量，并以高精度返回测量结果。该设备是高精度激光干涉仪领域 20 多年经验的结晶。该干涉仪代表了激光测量领域的 "专有技术 "和最佳参数。所有这些都与最高的质量、丰富的附件和选项、易用性和紧凑性密切相关。 测量不再受限！线性测量系统 HPI-3D 优化了现代激光系统的可用参数。极高的移动速度、超高分辨率和高采样率使该设备甚至适用于非常苛刻的应用。 虽然目前还没有通用的测量设备，但 ...