激光干涉仪 SP 5000 DI

OEM应用亚纳米级位移测量长度测量

我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域长期测量（例如材料性能分析）的首选。 与标准干涉仪不同，在差分型中，参考光束从传感器头引出，并与测量光束平行。这种设计使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会显著影响测量的分辨率或稳定性。 该干涉仪的长度分辨率处于亚纳米量级，且得益于差分原理，即使在普通实验室条件下，也能在相当的测量距离或光束长度下实现这一分辨率。 如果使用抗倾斜反射器进行测量，长度测量范围可达数米。该干涉测量系统采用模块化设计，因此可根据具体的测量任务进行调整。 调整操作简单，且特别能实现长期稳定性。 基于 SP 5000 DI 干涉仪扩展而成的多轴干涉测量系统，可实现多坐标同步测量。 通过差分测量将环境影响降至最低 热稳定性长期稳定的传感器，温度灵敏度 < 20 nm/K 可使用各种光学反射器，例如球面反射器、平面镜反射器 测量反射器具有较大的倾斜不变性 标配不锈钢传感器头设计 光路距离：21 mm 丰富的触发选项