激光干涉仪 SP 5000 DI

OEM应用亚纳米级位移测量长度测量

带两束平行测量光束的高稳定性差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热长期稳定传感器，温度灵敏度 < 20 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：21 毫米 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域（如材料特性分析）长期测量的首选。 与标准干涉仪不同，差分式激光干涉仪的参考光束从传感器头引出，与测量光束平行。这一概念使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会明显影响测量的分辨率或稳定性。这种干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内，而且由于采用了差分原理，即使在正常的实验室条件下，也能达到相当的测量或光束长度。 如果使用倾斜不变反射器进行测量，长度测量范围可达数米。干涉测量系统采用模块化设计，因此可以根据不同的测量任务进行调整。