校准干涉仪 SP 5000 DS

长度测量光学激光

双光束激光干涉仪，可同时进行精确的长度和角度测量 - 精度最高的灵活长度测量系统 - 最高精度的角度检测 - 易于调整和操作 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头有铝合金、不锈钢或无钢制成 - 光束距离：标准为 12 毫米，其他可按需定制 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 多种触发选项 SP 5000 DS 双光束激光干涉仪用于测量需要同时获取运动角度和长度信息的任务。该干涉仪的测量原理基于 SP 5000 NG 测量装置。 两束测量激光使用频率相同的共用激光。两个测量光束之间的光束间距经过高精度校准。测量光束之间的平行度非常重要。如果两束光使用一个共同的反射镜，则可以通过形成差值来测量和计算运动中的角度，分辨率很高。 如果两个光束独立运行，则可以进行差分测量。如果对差分测量的长期稳定性有特别高的要求，我们推荐使用 SP 5000 DI 系列干涉仪。需要同时获取另一个角度的测量任务可以使用三光束 SP 5000 TR 干涉仪来完成。