校准干涉仪 SP 5000 DS

长度测量光学激光

SP 5000 DS 双光束激光干涉仪用于需要同时获取运动角度和长度信息的测量任务。该干涉仪的测量原理基于 SP 5000 NG 测量设备。 两束测量激光束均采用同一激光器发出的、频率相同的光。 两束测量激光束之间的光束间距经过高精度校准。测量激光束之间的平行度至关重要。如果两束激光均使用同一个反射器，则可通过计算两束光之间的差值，在运动过程中以高分辨率测量并计算角度。 如果两束激光独立运行，则可进行差分测量。 对于对差分测量长期稳定性要求特别高的应用，我们推荐使用 SP 5000 DI 系列干涉仪。需要同时采集另一个角度的测量任务，可使用三光束 SP 5000 TR 干涉仪完成。 最高精度的灵活长度测量系统 最高精度的角度检测 调整和操作简便 可使用多种光学反射器，例如球面反射器、平面镜反射器 测量反射器的允许倾斜角度可达 ± 12.5° 紧凑型设计 传感器头可选铝、不锈钢或因瓦合金材质 光束间距：标准为 12 mm，其他规格可按要求定制 可提供 OEM 版本、OEM 软件及真空版本 丰富的触发选项