OEM应用干涉仪 SP 5000 DI/DS

用于位移测量长度测量光学

产品说明
SP 5000 DI/DS 将差分干涉原理与多束干涉技术结合，可同时实现稳定的长度测量和干涉角度（倾角）测量。该配置可在较大区域内检测极微小位移和细微倾角，同时降低温度及环境扰动的影响。

主要特性

• 四束激光干涉的位移‑角度差分测量系统
• 稳定的差分长度和俯仰角（角度）测量
• 适用于 XY 台和平面镜的集成安装
• 光束间距：15 mm（长度测量）和 6 mm（角度测量）
• 温度敏感性极低 < 20 nm / K
• 可按需提供 OEM 和真空版本

应用与使用
该干涉仪用于安装在平面镜上或作为内置测量系统，亦可与反射镜配合使用。通过集成到光路中的超稳定光学组件进行对准，确保测量的可重复性和长期稳定性。

适用领域

• 同时测量长度和角度以补偿精密测量布局中的阿贝误差
• 采用两传感器头的 X‑Y 工作台位置控制
• 长期稳定的长度和角度测量，达到最高分辨率

适合于

• 长期监测与校准任务
• 精密系统的 OEM 集成
• 对稳定性和分辨率有最高要求的应用

技术规格

• 测量范围（长度）：0 m 至 ≥ 2 m
• 长度分辨率：5 pm
• 长度测量不确定度：0.15 µm/m
• 最大倾斜角（使用平面镜）：±430 µrad
• 角度分辨率：0.02 µrad
• 光束间距：15 mm（长度）、6 mm（角度）
• 温度敏感性：< 20 nm / K
• 测量原理：差分干涉仪与多束干涉仪相结合，实现在长度与角度上的同时测量
• 版本：标准型、OEM 变体和真空版本（可按需提供）