差动干涉仪

... ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。 ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳，提供了两个测量轴。 ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率，适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中，支持扩展到多达 64 个测量轴。 我们荣获专利的循环减小误差选项可以自动、无缝地消除 DMI 系统中常见的固有非线性误差，从而达到最高的测量精度。 ...

... 三束激光干涉测量系统，可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统，精度最高 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离：12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...

... 带两束平行测量光束的高稳定性差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热长期稳定传感器，温度灵敏度 < 20 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：21 毫米 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域（如材料特性分析）长期测量的首选。 与标准干涉仪不同，差分式激光干涉仪的参考光束从传感器头引出，与测量光束平行。这一概念使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会明显影响测量的分辨率或稳定性。这种干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内，而且由于采用了差分原理，即使在正常的实验室条件下，也能达到相当的测量或光束长度。 如果使用倾斜不变反射器进行测量，长度测量范围可达数米。干涉测量系统采用模块化设计，因此可以根据不同的测量任务进行调整。 ...

... 超稳定紧凑型差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热超稳定传感器设计，温度灵敏度 < 10 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 结构紧凑、坚固耐用 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：14 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口可用作反馈系统 - 多种触发选项 超稳定、结构紧凑的 SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为必须长时间进行高度稳定的长度测量的应用而设计。传感器设计紧凑，即使在狭小的空间内也能实现长期稳定的调整和放置，因此该精密测量系统非常适合用作闭合控制回路的激光尺。应用中需要一个外部参考点，通常将其置于测量范围的中间位置，以实现最佳的测量值稳定性。干涉仪的基本原理基于 ...

... 双光束激光干涉仪，可同时进行精确的长度和角度测量 - 精度最高的灵活长度测量系统 - 最高精度的角度检测 - 易于调整和操作 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头有铝合金、不锈钢或无钢制成 - 光束距离：标准为 12 毫米，其他可按需定制 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 多种触发选项 SP 5000 DS 双光束激光干涉仪用于测量需要同时获取运动角度和长度信息的任务。该干涉仪的测量原理基于 ...

... RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。 特性与优点 双轴解决方案 — 双轴平面镜系统是XY平台应用的理想解决方案。 高分辨率 — 与角锥反射镜系统相比，平面镜系统还可用于要求更高分辨率的应用。 敏感环境 — 还提供低功率型号的平面镜干涉仪发射头。适合其功耗要求低于标准RLD额定值（即 < 2 W）的应用。 ...