差动干涉仪

... ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。 ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳，提供了两个测量轴。 ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率，适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中，支持扩展到多达 64 个测量轴。 我们荣获专利的循环减小误差选项可以自动、无缝地消除 DMI 系统中常见的固有非线性误差，从而达到最高的测量精度。 ...

... 三束激光干涉测量系统，可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统，精度最高 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离：12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...

... 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域长期测量（例如材料性能分析）的首选。 与标准干涉仪不同，在差分型中，参考光束从传感器头引出，并与测量光束平行。这种设计使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会显著影响测量的分辨率或稳定性。 该干涉仪的长度分辨率处于亚纳米量级，且得益于差分原理，即使在普通实验室条件下，也能在相当的测量距离或光束长度下实现这一分辨率。 如果使用抗倾斜反射器进行测量，长度测量范围可达数米。该干涉测量系统采用模块化设计，因此可根据具体的测量任务进行调整。 调整操作简单，且特别能实现长期稳定性。 ...

... 超稳定、紧凑型 SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为需要在长期内实现高度稳定长度测量的应用而设计。其紧凑的传感器设计即使在狭小空间内也能实现长期稳定的调整和安装，因此该精密测量系统非常适合作为闭环控制中的激光尺使用。 该应用需要一个外部参考点，通常将其放置在测量范围的中间位置，以实现最佳的测量值稳定性。该干涉仪的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也能实现亚纳米级别的长度分辨率。 测量范围可达数米，且可使用 SP 系列的反射器。 通过差分测量最大限度地减少环境影响 热稳定性极高的传感器设计，温度灵敏度 ...

... SP 5000 DS 双光束激光干涉仪用于需要同时获取运动角度和长度信息的测量任务。该干涉仪的测量原理基于 SP 5000 NG 测量设备。 两束测量激光束均采用同一激光器发出的、频率相同的光。 两束测量激光束之间的光束间距经过高精度校准。测量激光束之间的平行度至关重要。如果两束激光均使用同一个反射器，则可通过计算两束光之间的差值，在运动过程中以高分辨率测量并计算角度。 如果两束激光独立运行，则可进行差分测量。 对于对差分测量长期稳定性要求特别高的应用，我们推荐使用 SP 5000 DI 系列干涉仪。需要同时采集另一个角度的测量任务，可使用三光束 ...

... RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。 特性与优点 双轴解决方案 — 双轴平面镜系统是XY平台应用的理想解决方案。 高分辨率 — 与角锥反射镜系统相比，平面镜系统还可用于要求更高分辨率的应用。 敏感环境 — 还提供低功率型号的平面镜干涉仪发射头。适合其功耗要求低于标准RLD额定值（即 < 2 W）的应用。 ...