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... 概述
interferoMETER IMS5400-DS 是一款用于工业环境的白光干涉仪，适用于绝对距离与位移的纳米级测量。系统在较大偏移距离下实现nanometer级绝对测量，并支持对透明或多层结构的多峰评估。
特点
- 纳米级精度的绝对距离测量，适用于阶梯轮廓检测
- 透明物体的多峰测距（MP型号可同时评估最多14个距离值）
- 紧凑且坚固的传感器，可选90°光路型号
- 测量速率高达6 kHz，适应高速工业流程
- 金属外壳控制器，采用被动冷却，可安装于DIN导轨
- 通过网页界面轻松配置（无需安装客户端软件）
- 光纤电缆最长支持10
... 大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式干涉仪工作站，可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。 这款完全集成的系统易于使用，其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位，而无需定制夹具。 占地面积小，内置隔振系统，并配有控制器显示器支架，只占用很小的车间地板空间。 独立的大口径工作站，用于测量直径达 12 英寸（300 mm）的平面光学表面面形，如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。 主要特点 12 英寸（300 mm）口径，下视式立式设计，便于零件处理和对准 一站式的独立系统，包括干涉仪主机、被动隔振系统、测试件对准台和 ...
... ZYGO 的 Verifire VTS 是一个专门为球面光学器件打造的立式干涉仪工作站。 垂直向上“上视”式工作站通过重力作用将测试样件固定到位，实现快速取放测量。 集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台，即使在生产环境中也能达到最高性能。 1 米行程的电动 Z 工作台可以快速自动放置测试部件，并实现曲率半径测量。 VTS 与一系列干涉仪主机兼容，您可以根据您的生产或开发需求选择合适的性能参数。 它的占地面积小，可选配带光幕运动联锁的安全罩，该安全罩符合 CE 机器安全要求。 ...
... ZYGO 的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向，并且可以在真空中工作。 该装置会测量回射器目标，用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO 提供标准和紧凑尺寸的线性干涉仪，以满足不同的空间限制要求。例如：十字刻线台、龙门系统、转向镜 该装置会测量平面镜目标，用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO 的平面镜干涉仪具有高稳定性，可减少热误差。例如：晶圆台、堆叠工作台系统 该装置会测量折射率的变化，用于补偿其他测量轴。ZYGO ...
... 对于导轨、测量台、显微镜和定位台、坐标测量机及机床上的长度测量和校准，以及多坐标测量而言，高精度且可靠的测量结果至关重要。 我们的通用激光干涉仪 SP 5000 NG 是满足您高精度长度测量需求的理想解决方案，并可随时通过该产品系列的其他组件进行扩展，以适应您新的测量项目。 紧凑型 SP 5000 NG 干涉仪操作简便，调整快速且简单。它能在不同的环境和操作条件下提供高精度的测量结果。借助内置传感器，干涉仪的对准过程简单、快速且非常精确。因此，可以避免因传感器对准不正确而导致的误差。 该高精度干涉仪还提供真空版本。 该激光干涉仪的设计既紧凑又坚固，外壳具有防溅水功能，光纤电缆可进行护套保护，以防止机械损坏。 集成光路方向检测功能，操作和调整简便 可使用多种光学反射器，例如三面镜、球面镜、平面镜反射器 测量反射器的允许倾斜角度可达 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... SP 15000 NG 长距离激光干涉仪专为长距离长度测量而设计，是在 SP 5000 NG 产品系列基础上进一步发展的产品。传感器头配备了额外的光学元件，可将激光束最佳地适应于大测量长度。 大型坐标测量机和机床、长线性轴以及校准距离是这款精密线性编码器的主要应用领域。在测量过程中，房间或测量位置的温度分布对测量结果的准确性起着决定性作用。 因此，对于高精度应用，我们建议将该干涉仪与我们的 LCS 精密气候测量站配合使用。 调整和操作简便 可实现高达 80 米的测量范围 丰富的触发选项 面向 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 超稳定、紧凑型 SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为需要在长期内实现高度稳定长度测量的应用而设计。其紧凑的传感器设计即使在狭小空间内也能实现长期稳定的调整和安装，因此该精密测量系统非常适合作为闭环控制中的激光尺使用。 该应用需要一个外部参考点，通常将其放置在测量范围的中间位置，以实现最佳的测量值稳定性。该干涉仪的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也能实现亚纳米级别的长度分辨率。 测量范围可达数米，且可使用 SP 系列的反射器。 通过差分测量最大限度地减少环境影响 热稳定性极高的传感器设计，温度灵敏度 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 微型干涉仪 VI-direct 将平面度测试范围扩展到最小直径领域。菲佐型干涉仪能够测量直径在 0.8 毫米到 3.6 毫米之间的光学部件的表面平面度。微型干涉仪 VI-direct 性价比高，可用于测试微型棱镜、激光晶体、光纤末端等光学部件。 - 通过 USB 3 端口直接连接电脑，无需图像采集器 - 高分辨率数码相机（3088x2076 像素） - 曝光时间短，对振动不敏感 - 多种光学和机械附件 - 可用于垂直、水平或倾斜方向。这使得该仪器在客户的特定应用中具有极高的通用性 - ...
... Q2激光雷达是一款先进的干涉仪，适用于汽车、坐标测量机（CMM）、校准和OEM用途。它提供高精度测量，具有65个并行通道和一个微型扫描器。它提供计量级精度和高密度数据。测量范围可达50米，并包括自动对焦和用于对齐和记录的RGB相机。 主要特点： - 65个并行通道，实现快速数据采集。 - 计量级精度。 - 测量范围可达50米。 - 自动对焦和RGB相机，便于对齐。 - 便携且坚固的设计，适用于生产线和现场使用。 优势： - 高速、非接触测量提高效率。 - 便携性适用于各种工业环境。 - ...
... MSI 50 特征 配有刚性花岗岩底座和无源空气阻尼减震器。 Z轴配置高精度径向滑轨。 B轴配置倒置干涉仪模块。 B轴配置高分辨率旋转轴，用于精确调节干涉仪单元使其垂直于基片表面。 C轴配置直接驱动旋转轴，用于旋转大口径球面和平面元件。 可选多种工件支架：筒夹夹头，三爪卡盘，HD12、HD25液压膨胀夹头。 配置OptoTech Inspect Mini EL-F Digital 2”斐索干涉仪模块。 紧凑型设计，集成计算机工作站。 操作：常规（手动）或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制。 配置OptoTech干涉仪软件μShape ...
OptoTech
... µLine® - 激光干涉仪测量系统 激光干涉仪测量系统的特点: 激光干涉仪中内置补偿单元 易编程的输入和输出端 温度、气压和湿度传感器与激光干涉仪之间是无线通信 测量速度高达6m/s 设计紧凑，便于携带 （携带箱尺寸：350 x 200 x 250mm） 二维90°角度器 （精度：5µm/m） 三维90°角度器 （精度：5µm/m – 同样适用于直线度激光测量系统） ...
... Teem Photonics公司已经开发并提供了一个新的紧凑、稳定和高性能的干涉仪系列，用于测量皮米级的位移和振动。 Teem Photonics的PicoMove干涉仪是基于单芯片集成的高稳定性架构，其测量结果具有内在的超低噪声。 对眼睛安全的1.55µm工作波长提供了与商业电信源的兼容性。 该传感器的设计还可以处理可见光波长，以方便光束对准。Teem提出了使用低热膨胀材料和UHV环境的封装选项。测量系统的电气部分（激光源、检测器）通过可靠的光纤尾纤进行远程控制。 > 激光信号（来自输入光纤）被分成两个臂：一个是具有光刻定义的恒定长度的参考臂，另一个是自由空间测量臂，光在移动目标上被反向反射。 ...