距离测量用干涉仪 interferoMETER 5400-DS

光学紧凑型白光

概述
interferoMETER IMS5400-DS 是一款用于工业环境的白光干涉仪，适用于绝对距离与位移的纳米级测量。系统在较大偏移距离下实现nanometer级绝对测量，并支持对透明或多层结构的多峰评估。

特点

• 纳米级精度的绝对距离测量，适用于阶梯轮廓检测
• 透明物体的多峰测距（MP型号可同时评估最多14个距离值）
• 紧凑且坚固的传感器，可选90°光路型号
• 测量速率高达6 kHz，适应高速工业流程
• 金属外壳控制器，采用被动冷却，可安装于DIN导轨
• 通过网页界面轻松配置（无需安装客户端软件）
• 光纤电缆最长支持10 m，实现传感器/控制器分离
• 灵活的工业集成，提供多种接口和I/O

功能 / 性能
IMS5400-DS 提供纳米级绝对距离测量，并通过多峰评估同时识别透明或分层样品中的多个反射面。高采样率（最高6 kHz）与小光斑（约10 µm）使其能在运动或静止目标上稳定测量阶梯轮廓和微小细节。控制器通过被动冷却与主动温度补偿保证测量稳定性，配置与调试可通过网页界面快速完成。

技术规格

• 测量原理：白光干涉（绝对距离测量）
• 分辨率/精度：纳米量级绝对测量；典型线性度 ±50 nm（视型号而定）
• 多峰能力：最多可同时评估13–14个距离值（视型号而定）
• 测量速率：最高6 kHz
• 光斑直径：典型约10 µm
• 偏移距离：在紧凑传感器设计中仍具有较大偏移；提供90°光路型号
• 控制器：金属外壳、被动冷却、可DIN导轨安装；具备智能评估功能
• 配置：基于网页的界面（无需客户端软件）
• 接口：Ethernet、EtherCAT、RS422、模拟输出、同步输入、数字I/O、编码器输入；可选模块支持PROFINET/ EtherNet/IP
• 传感器-控制器分离：光纤电缆最长10 m
• 典型应用：高精度距离/位移测量、阶梯轮廓检测、玻璃厚度测量、生产线集成及洁净室/真空环境（提供VAC/UHV版本）