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... 白光干涉仪IMS5600-DS用于最高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估的特殊校准，可实现亚纳米分辨率的绝对测量。该干涉仪用于具有最高精度要求的测量任务，例如，在电子和半导体生产中。对于真空应用，Micro-Epsilon提供特殊的传感器、电缆和馈通附件。这些传感器和电缆在很大程度上是无颗粒的，甚至可以在UHV中使用。 该系统提供绝对测量值，因此也可用于阶梯轮廓的距离测量。由于采用了绝对测量，阶梯的采样具有很高的信号稳定性。当对移动物体进行测量时，脚跟、台阶和凹陷的高度差异因此可以被可靠地检测出来。该测量系统具有亚纳米级的分辨率，相对于测量范围而言，具有较大的偏移距离。 通过对透明物体的多峰距离测量，可同时评估多达14个距离值。例如，可以确定玻璃和承载板之间的距离。然后，控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。 IMS5600-DS干涉仪可用于真空环境和洁净室中的测量任务，干涉仪的分辨率达到亚纳米范围。 ...
... 特点
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li>纳米级精度的绝对距离测量，适用于阶梯轮廓检测
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li>透明物体的多峰测距（MP型号可同时评估最多14个距离值）
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li>紧凑且坚固的传感器，可选90°光路型号
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li>测量速率高达6 kHz，适应高速工业流程
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li>金属外壳控制器，采用被动冷却，可安装于DIN导轨
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li>通过网页界面轻松配置（无需安装客户端软件）
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li>光纤电缆最长支持10
... 。 - 集成相机和自动对焦简化设置和记录。 - 在工业和户外条件下可靠。 应用： - 汽车、航空航天和重型机械中的精密测量。 - 符合标准的校准。 - 精密制造中的质量控制。 - 需要详细空间数据的OEM应用。 认证： - CE认证，符合全球安全和质量标准。 Q2激光雷达提供卓越的性能和灵活性，为干涉仪设定了新的标准。 ...
... HPI-3D 线性激光测量系统是一种激光干涉仪，安装快速简便，可同时进行动态 3DOF 测量。HPI-3D 能够以非常高的速度进行测量，并以高精度返回测量结果。该设备是高精度激光干涉仪领域 20 多年经验的结晶。该干涉仪代表了激光测量领域的 "专有技术 "和最佳参数。所有这些都与最高的质量、丰富的附件和选项、易用性和紧凑性密切相关。 测量不再受限！线性测量系统 HPI-3D 优化了现代激光系统的可用参数。极高的移动速度、超高分辨率和高采样率使该设备甚至适用于非常苛刻的应用。 虽然目前还没有通用的测量设备，但 ...