平面度测量干涉仪

Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计，建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合，实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来，光学计量技术取得了很大的进步。 在过去，人们需要小心翼翼地控制环境的影响，才能获得可靠的测量。 ...

化繁为简 – 多个表面会产生复杂的条纹图案，Verifire™ MST 采用专利的波长调制技术，可同时采集多个表面的相位数据。 提供平行窗口各表面的关键参数、透射波前以及精确的面与面之间的信息，如总厚度变化（TTV）、楔角甚至是材料不均匀性。 Verifire™ MST 通过对薄至 0.5 mm 的测试件进行精确的表面和厚度变化测量，可满足移动设备显示屏玻璃、数据存储光盘和半导体晶圆等高要求应用的需求。 Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。 主要特点 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 ...

... 非球面光学技术在成像、传感和激光系统的设计和实施方面具有显著优势，广泛应用于...和航空航天、半导体曝光和检测系统以及医疗成像系统等行业。 生产支持这些应用的非球面离不开精密计量。 毕竟，就非球面光学而言，无法测量的东西就无法制造。 Verifire Asphere+ (VFA+) 利用 Fizeau 干涉测量法的优势，为轴对称非球面提供了精确、高分辨率、快速和全孔径测量的独特组合。 VFA+ 提供了一个灵活的测量平台，只需改变透射球即可测量一系列轴对称非球面。VFA+ ...

可一次测量六个参数的激光干涉仪 80 米 线性测量范围 0.5 PPM 测量精度 6自由度 高效测量 4.2 KG 整机重量 多轴加工中心的校准 XD Laser激光干涉仪，一次安装可测得六个参数（包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角），可实现对多轴加工中心的精准测量与评估。 快速测量 与传统干涉仪相比，XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据，迅速完成整机的性能评估，停机时间可减少80%。 实时分析 API激光干涉仪软件系统可对XD激光干涉仪采集的数据进行实时分析处理并生成测量报告。 快速测量 与传统干涉仪相比，XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据，迅速完成整机的性能评估，停机时间可减少80%。 6自由度测量 XD激光干涉仪，一次安装即可测得包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角在内的6个参数，大幅提升测量效率。 适用于多种参数的测量 XD激光干涉仪可测量多种机床参数，包括速度、加速度、平行度、垂直度和平面度误差等等。 紧凑式设计 XD ...

... 微型干涉仪 VI-direct 将平面度测试范围扩展到最小直径领域。菲佐型干涉仪能够测量直径在 0.8 毫米到 3.6 毫米之间的光学部件的表面平面度。微型干涉仪 VI-direct 性价比高，可用于测试微型棱镜、激光晶体、光纤末端等光学部件。 - 通过 USB 3 端口直接连接电脑，无需图像采集器 - 高分辨率数码相机（3088x2076 像素） - 曝光时间短，对振动不敏感 - 多种光学和机械附件 - 可用于垂直、水平或倾斜方向。这使得该仪器在客户的特定应用中具有极高的通用性 ...

... TOPOS 干涉仪根据光的放牧率原理运行。 也可以测量较粗糙的部件的平坦度，光学平面或菲佐干涉仪没有更多的条纹图案。 计算机根据干扰模式计算测试对象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁边也可以测量抛光部件。 部件可以由多种材料组成： -金属（钢，铝，青铜，铜等） -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉仪可放置在生产线上，靠近加工机。 在整个测量区域内，绝对精度高达 0.1µm。 TOPOS 50 是一款非接触式平坦度测量仪器，用于精确制造 的表面，具有亚微米精度。 ...

... TOPOS 100 是一款非接触式平坦度测量仪器，用于精密制造表面，具有亚微米精度。 TOPOS 平坦度测量仪器满足 客观工作测量工具的要求，用于精密部件（例如燃油喷射 系统、泵或阀门）的生产和质量控制。 TOPOS 干涉仪允许对研磨、 精加工和抛光精密部件进行非接触式平坦度测量。 TOPOS 干涉仪根据光的放牧率原理运行。 也可以测量较粗糙的部件的平坦度，光学平面或菲佐干涉仪没有更多的条纹图案。 计算机根据干扰模式计算测试对象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁边也可以测量抛光部件。 ...

... 通过交叉或旋转台对 TOPOS 100 进行延伸的大环和表面的平坦度测量 TOPOS 干涉仪基于非接触式测量原理. 这是使用十字台或旋转台进行测量的基础。 因此，根据干涉仪的测量领域，可测量件的尺寸没有限制。 采用@@ 交叉式或旋转式工作台的方法，测量过程完全自动化。 单个测量值的数量取决于测试对象的大小。 每段测量完毕后，用户将像其他任何正常测量一样获得整件的平整度值。 外径可达 420mm、环宽度可达 80mm 的大环 为了测量大环，将用重叠测量环段。 ...

1. 产品简介 　　激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 　　SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。 SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 2.产品配置 　　SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。 其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 二.工作原理 　　激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。 　　若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 三. ...

... HPI-3D 线性激光测量系统是一种激光干涉仪，安装快速简便，可同时进行动态 3DOF 测量。HPI-3D 能够以非常高的速度进行测量，并以高精度返回测量结果。该设备是高精度激光干涉仪领域 20 多年经验的结晶。该干涉仪代表了激光测量领域的 "专有技术 "和最佳参数。所有这些都与最高的质量、丰富的附件和选项、易用性和紧凑性密切相关。 测量不再受限！线性测量系统 HPI-3D 优化了现代激光系统的可用参数。极高的移动速度、超高分辨率和高采样率使该设备甚至适用于非常苛刻的应用。 虽然目前还没有通用的测量设备，但 ...