长度测量干涉仪

化繁为简 – 多个表面会产生复杂的条纹图案，Verifire™ MST 采用专利的波长调制技术，可同时采集多个表面的相位数据。 提供平行窗口各表面的关键参数、透射波前以及精确的面与面之间的信息，如总厚度变化（TTV）、楔角甚至是材料不均匀性。 Verifire™ MST 通过对薄至 0.5 mm 的测试件进行精确的表面和厚度变化测量，可满足移动设备显示屏玻璃、数据存储光盘和半导体晶圆等高要求应用的需求。 Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。 主要特点 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 ...

可一次测量六个参数的激光干涉仪 80 米 线性测量范围 0.5 PPM 测量精度 6自由度 高效测量 4.2 KG 整机重量 多轴加工中心的校准 XD Laser激光干涉仪，一次安装可测得六个参数（包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角），可实现对多轴加工中心的精准测量与评估。 快速测量 与传统干涉仪相比，XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据，迅速完成整机的性能评估，停机时间可减少80%。 实时分析 API激光干涉仪软件系统可对XD激光干涉仪采集的数据进行实时分析处理并生成测量报告。 快速测量 与传统干涉仪相比，XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据，迅速完成整机的性能评估，停机时间可减少80%。 6自由度测量 XD激光干涉仪，一次安装即可测得包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角在内的6个参数，大幅提升测量效率。 适用于多种参数的测量 XD激光干涉仪可测量多种机床参数，包括速度、加速度、平行度、垂直度和平面度误差等等。 紧凑式设计 XD ...

... 三束激光干涉测量系统，可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统，精度最高 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离：12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...

... 用于高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，例如三面镜、球面镜、平面镜反射镜 - 允许测量反射镜倾斜最大 ± 22.5°。 - 结构紧凑、坚固耐用 - 传感器外壳具有防水溅保护装置 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 符合政府标准 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 高精度和可靠的结果对于导轨、测量平台、显微镜和定位平台、三坐标测量机和机床以及多坐标测量的长度测量和校准至关重要。我们的通用型激光干涉仪 ...

... 带两束平行测量光束的高稳定性差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热长期稳定传感器，温度灵敏度 < 20 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：21 毫米 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域（如材料特性分析）长期测量的首选。 与标准干涉仪不同，差分式激光干涉仪的参考光束从传感器头引出，与测量光束平行。这一概念使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会明显影响测量的分辨率或稳定性。这种干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内，而且由于采用了差分原理，即使在正常的实验室条件下，也能达到相当的测量或光束长度。 如果使用倾斜不变反射器进行测量，长度测量范围可达数米。干涉测量系统采用模块化设计，因此可以根据不同的测量任务进行调整。 ...

... 用于远距离高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 长距离高精度长度测量 - 易于调整和操作 - 测量范围可达 80 米 - 设计紧凑 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 SP 15000 NG 长距离激光干涉仪是在 SP 5000 NG 产品系列的基础上专门为长距离长度测量而设计的。传感头带有附加光学镜组，可使激光束以最佳状态适应大长度测量。大型三坐标测量机和机床、长直线轴和校准距离是这种精密直线光栅的主要应用领域。 ...

... 超稳定紧凑型差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热超稳定传感器设计，温度灵敏度 < 10 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 结构紧凑、坚固耐用 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：14 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口可用作反馈系统 - 多种触发选项 超稳定、结构紧凑的 SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为必须长时间进行高度稳定的长度测量的应用而设计。传感器设计紧凑，即使在狭小的空间内也能实现长期稳定的调整和放置，因此该精密测量系统非常适合用作闭合控制回路的激光尺。应用中需要一个外部参考点，通常将其置于测量范围的中间位置，以实现最佳的测量值稳定性。干涉仪的基本原理基于 ...

... 双光束激光干涉仪，可同时进行精确的长度和角度测量 - 精度最高的灵活长度测量系统 - 最高精度的角度检测 - 易于调整和操作 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头有铝合金、不锈钢或无钢制成 - 光束距离：标准为 12 毫米，其他可按需定制 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 多种触发选项 SP 5000 DS 双光束激光干涉仪用于测量需要同时获取运动角度和长度信息的任务。该干涉仪的测量原理基于 ...

... 用于高精度同步测量和校准定位轴长度、俯仰角、偏航角和直线度的激光干涉仪 - 灵活的高精度长度测量系统 - 长距离高精度长度测量 - 同步、连续地测量长度、俯仰角、偏航角和直线度，还可与可选的滚动角传感器一起进行 6 DoF 测量 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 光束距离50 毫米 - 通过旋转光学镜组可测量水平和垂直直线度分量 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 - ...

... HPI-3D 线性激光测量系统是一种激光干涉仪，安装快速简便，可同时进行动态 3DOF 测量。HPI-3D 能够以非常高的速度进行测量，并以高精度返回测量结果。该设备是高精度激光干涉仪领域 20 多年经验的结晶。该干涉仪代表了激光测量领域的 "专有技术 "和最佳参数。所有这些都与最高的质量、丰富的附件和选项、易用性和紧凑性密切相关。 测量不再受限！线性测量系统 HPI-3D 优化了现代激光系统的可用参数。极高的移动速度、超高分辨率和高采样率使该设备甚至适用于非常苛刻的应用。 虽然目前还没有通用的测量设备，但 ...