长度测量干涉仪

... 三束激光干涉测量系统，可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统，精度最高 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离：12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...

... 对于导轨、测量台、显微镜和定位台、坐标测量机及机床上的长度测量和校准，以及多坐标测量而言，高精度且可靠的测量结果至关重要。 我们的通用激光干涉仪 SP 5000 NG 是满足您高精度长度测量需求的理想解决方案，并可随时通过该产品系列的其他组件进行扩展，以适应您新的测量项目。 紧凑型 SP 5000 NG 干涉仪操作简便，调整快速且简单。它能在不同的环境和操作条件下提供高精度的测量结果。借助内置传感器，干涉仪的对准过程简单、快速且非常精确。因此，可以避免因传感器对准不正确而导致的误差。 该高精度干涉仪还提供真空版本。 该激光干涉仪的设计既紧凑又坚固，外壳具有防溅水功能，光纤电缆可进行护套保护，以防止机械损坏。 集成光路方向检测功能，操作和调整简便 可使用多种光学反射器，例如三面镜、球面镜、平面镜反射器 测量反射器的允许倾斜角度可达 ...

... 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域长期测量（例如材料性能分析）的首选。 与标准干涉仪不同，在差分型中，参考光束从传感器头引出，并与测量光束平行。这种设计使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会显著影响测量的分辨率或稳定性。 该干涉仪的长度分辨率处于亚纳米量级，且得益于差分原理，即使在普通实验室条件下，也能在相当的测量距离或光束长度下实现这一分辨率。 如果使用抗倾斜反射器进行测量，长度测量范围可达数米。该干涉测量系统采用模块化设计，因此可根据具体的测量任务进行调整。 调整操作简单，且特别能实现长期稳定性。 ...

... 可一次测量六个参数的激光干涉仪 80 米 线性测量范围 0.5 PPM 测量精度 6自由度 高效测量 4.2 KG 整机重量 多轴加工中心的校准 XD Laser激光干涉仪，一次安装可测得六个参数（包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角），可实现对多轴加工中心的精准测量与评估。 快速测量 与传统干涉仪相比，XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据，迅速完成整机的性能评估，停机时间可减少80%。 实时分析 API激光干涉仪软件系统可对XD激光干涉仪采集的数据进行实时分析处理并生成测量报告。 快速测量 与传统干涉仪相比，XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据，迅速完成整机的性能评估，停机时间可减少80%。 6自由度测量 XD激光干涉仪，一次安装即可测得包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角在内的6个参数，大幅提升测量效率。 适用于多种参数的测量 XD激光干涉仪可测量多种机床参数，包括速度、加速度、平行度、垂直度和平面度误差等等。 紧凑式设计 XD ...

... 化繁为简 – 多个表面会产生复杂的条纹图案，Verifire™ MST 采用专利的波长调制技术，可同时采集多个表面的相位数据。 提供平行窗口各表面的关键参数、透射波前以及精确的面与面之间的信息，如总厚度变化（TTV）、楔角甚至是材料不均匀性。 Verifire™ MST 通过对薄至 0.5 mm 的测试件进行精确的表面和厚度变化测量，可满足移动设备显示屏玻璃、数据存储光盘和半导体晶圆等高要求应用的需求。 Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。 主要特点 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 ...