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长度测量干涉仪
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... 化繁为简 – 多个表面会产生复杂的条纹图案,Verifire™ MST 采用专利的波长调制技术,可同时采集多个表面的相位数据。 提供平行窗口各表面的关键参数、透射波前以及精确的面与面之间的信息,如总厚度变化(TTV)、楔角甚至是材料不均匀性。 Verifire™ MST 通过对薄至 0.5 mm 的测试件进行精确的表面和厚度变化测量,可满足移动设备显示屏玻璃、数据存储光盘和半导体晶圆等高要求应用的需求。 Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统,可以保持相对表面信息,并快速提供多个表面的结果。 主要特点 同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之间的测量,如 ...
... 三束激光干涉测量系统,可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统,精度最高 - 集成光束方向检测功能,易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜,如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离:12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中,同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值,可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 对于导轨、测量台、显微镜和定位台、坐标测量机及机床上的长度测量和校准,以及多坐标测量而言,高精度且可靠的测量结果至关重要。 我们的通用激光干涉仪 SP 5000 NG 是满足您高精度长度测量需求的理想解决方案,并可随时通过该产品系列的其他组件进行扩展,以适应您新的测量项目。 紧凑型 SP 5000 NG 干涉仪操作简便,调整快速且简单。它能在不同的环境和操作条件下提供高精度的测量结果。借助内置传感器,干涉仪的对准过程简单、快速且非常精确。因此,可以避免因传感器对准不正确而导致的误差。 该高精度干涉仪还提供真空版本。 该激光干涉仪的设计既紧凑又坚固,外壳具有防溅水功能,光纤电缆可进行护套保护,以防止机械损坏。 集成光路方向检测功能,操作和调整简便 可使用多种光学反射器,例如三面镜、球面镜、平面镜反射器 测量反射器的允许倾斜角度可达 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... SP 15000 NG 长距离激光干涉仪专为长距离长度测量而设计,是在 SP 5000 NG 产品系列基础上进一步发展的产品。传感器头配备了额外的光学元件,可将激光束最佳地适应于大测量长度。 大型坐标测量机和机床、长线性轴以及校准距离是这款精密线性编码器的主要应用领域。在测量过程中,房间或测量位置的温度分布对测量结果的准确性起着决定性作用。 因此,对于高精度应用,我们建议将该干涉仪与我们的 LCS 精密气候测量站配合使用。 调整和操作简便 可实现高达 80 米的测量范围 丰富的触发选项 面向 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性,因此是研发领域长期测量(例如材料性能分析)的首选。 与标准干涉仪不同,在差分型中,参考光束从传感器头引出,并与测量光束平行。这种设计使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方,而不会显著影响测量的分辨率或稳定性。 该干涉仪的长度分辨率处于亚纳米量级,且得益于差分原理,即使在普通实验室条件下,也能在相当的测量距离或光束长度下实现这一分辨率。 如果使用抗倾斜反射器进行测量,长度测量范围可达数米。该干涉测量系统采用模块化设计,因此可根据具体的测量任务进行调整。 调整操作简单,且特别能实现长期稳定性。 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 超稳定、紧凑型 SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为需要在长期内实现高度稳定长度测量的应用而设计。其紧凑的传感器设计即使在狭小空间内也能实现长期稳定的调整和安装,因此该精密测量系统非常适合作为闭环控制中的激光尺使用。 该应用需要一个外部参考点,通常将其放置在测量范围的中间位置,以实现最佳的测量值稳定性。该干涉仪的基本原理基于 SP 5000 DI 系列,因此也能实现亚纳米级别的长度分辨率。 测量范围可达数米,且可使用 SP 系列的反射器。 通过差分测量最大限度地减少环境影响 热稳定性极高的传感器设计,温度灵敏度 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... SP 5000 DS 双光束激光干涉仪用于需要同时获取运动角度和长度信息的测量任务。该干涉仪的测量原理基于 SP 5000 NG 测量设备。 两束测量激光束均采用同一激光器发出的、频率相同的光。 两束测量激光束之间的光束间距经过高精度校准。测量激光束之间的平行度至关重要。如果两束激光均使用同一个反射器,则可通过计算两束光之间的差值,在运动过程中以高分辨率测量并计算角度。 如果两束激光独立运行,则可进行差分测量。 对于对差分测量长期稳定性要求特别高的应用,我们推荐使用 SP 5000 DI 系列干涉仪。需要同时采集另一个角度的测量任务,可使用三光束 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 用于高精度同步测量和校准定位轴长度、俯仰角、偏航角和直线度的激光干涉仪 - 灵活的高精度长度测量系统 - 长距离高精度长度测量 - 同步、连续地测量长度、俯仰角、偏航角和直线度,还可与可选的滚动角传感器一起进行 6 DoF 测量 - 集成光束方向检测功能,易于操作和调整 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 光束距离50 毫米 - 通过旋转光学镜组可测量水平和垂直直线度分量 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 - 校准软件符合现行有效的标准 高精度动态采集机床轴的导向特性以及随后进行符合标准的校准是一个非常耗费人力和时间的过程,最终可实现高定位精度。 SP ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... - 菲佐干涉仪 - 测量孔径6英寸 - 花岗岩底座 - 被动振动隔离系统 - 自动干扰评估 选项 自动流苏分析 - 压电式移相单元 - 基于Windows 7的软件 变焦 高分辨率相机 ...
... 。 - 集成相机和自动对焦简化设置和记录。 - 在工业和户外条件下可靠。 应用: - 汽车、航空航天和重型机械中的精密测量。 - 符合标准的校准。 - 精密制造中的质量控制。 - 需要详细空间数据的OEM应用。 认证: - CE认证,符合全球安全和质量标准。 Q2激光雷达提供卓越的性能和灵活性,为干涉仪设定了新的标准。 ...
... HPI-3D 线性激光测量系统是一种激光干涉仪,安装快速简便,可同时进行动态 3DOF 测量。HPI-3D 能够以非常高的速度进行测量,并以高精度返回测量结果。该设备是高精度激光干涉仪领域 20 多年经验的结晶。该干涉仪代表了激光测量领域的 "专有技术 "和最佳参数。所有这些都与最高的质量、丰富的附件和选项、易用性和紧凑性密切相关。 测量不再受限!线性测量系统 HPI-3D 优化了现代激光系统的可用参数。极高的移动速度、超高分辨率和高采样率使该设备甚至适用于非常苛刻的应用。 虽然目前还没有通用的测量设备,但 ...