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厚度测量干涉仪
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
... 白光干涉仪用于亚微米精度的可靠厚度测量 新型 IMS5200-TH 白光干涉仪为快速、可靠的厚度测量提供了新的可能性。该控制器具有智能评估功能,可对薄至 1 µm 的透明层进行精确的厚度测量。高达 24 kHz 的测量速率使 IMS5200 型号成为工业应用的理想之选。纳米级精度,可测量薄至 1 µm 的透明层。 ...
... 白光干涉仪用于亚微米精度的稳定厚度测量 新型 IMS5400-TH 白光干涉仪为工业厚度测量开辟了新的前景。该控制器具有智能评估功能,能够以最高精度测量透明物体的厚度。 ...
... IMS5420-TH 白光干涉仪为单晶硅片的工业厚度测量开辟了新的前景。IMS5420-TH 采用宽带超发光二极管 (SLED),可用于测量未掺杂、掺杂和高掺杂的单晶硅片。厚度测量范围从 0.05 毫米到 1.05 毫米。可测量的气隙厚度甚至可达 4 毫米。 在半导体生产中,高精度是必不可少的。一个重要的工艺步骤是研磨坯料,从而使其达到均匀的厚度。为了持续控制厚度,我们开发了干涉仪 IMS5420 系列白光干涉仪。 这些干涉仪均由一个紧凑型传感器和一个控制器组成,安装在坚固的工业级外壳中。控制器中集成的主动温度控制确保了测量的高稳定性。 干涉仪既可作为厚度测量系统,也可作为多峰值厚度测量系统。多峰值厚度测量系统可测量多达五层的厚度,例如 ...
... 化繁为简 – 多个表面会产生复杂的条纹图案,Verifire™ MST 采用专利的波长调制技术,可同时采集多个表面的相位数据。 提供平行窗口各表面的关键参数、透射波前以及精确的面与面之间的信息,如总厚度变化(TTV)、楔角甚至是材料不均匀性。 Verifire™ MST 通过对薄至 0.5 mm 的测试件进行精确的表面和厚度变化测量,可满足移动设备显示屏玻璃、数据存储光盘和半导体晶圆等高要求应用的需求。 Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统,可以保持相对表面信息,并快速提供多个表面的结果。 主要特点 同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之间的测量,如 ...
... 非球面光学技术在成像、传感和激光系统的设计和实施方面具有显著优势,广泛应用于...和航空航天、半导体曝光和检测系统以及医疗成像系统等行业。 生产支持这些应用的非球面离不开精密计量。 毕竟,就非球面光学而言,无法测量的东西就无法制造。 Verifire Asphere+ (VFA+) 利用 Fizeau 干涉测量法的优势,为轴对称非球面提供了精确、高分辨率、快速和全孔径测量的独特组合。 VFA+ 提供了一个灵活的测量平台,只需改变透射球即可测量一系列轴对称非球面。VFA+ 配备了可选的二级平台,支持计算机生成全息图 ...
... 。 - 集成相机和自动对焦简化设置和记录。 - 在工业和户外条件下可靠。 应用: - 汽车、航空航天和重型机械中的精密测量。 - 符合标准的校准。 - 精密制造中的质量控制。 - 需要详细空间数据的OEM应用。 认证: - CE认证,符合全球安全和质量标准。 Q2激光雷达提供卓越的性能和灵活性,为干涉仪设定了新的标准。 ...
... 准确性标准 您的垂直测量解决方案是 Laseruler,它以激光干涉仪为基础,精度极高。 您可以完全放心地测量精密薄膜、零件和量具的高度和厚度。 我们独有的数字干涉仪通过比较测量探头的位置和氦氖(He-Ne)激光光源的波长来测量试样的尺寸,有效地将光的波长与被测件耦合。我们获得专利的激光路径与测量轴一致,消除了阿贝偏移误差。 操作员只需按下按钮或脚踏开关,其余的工作就由仪器来完成。 Laseruler® 可测量 -薄膜厚度 -光学元件 -量块 -球/球体 -球轴承 -涂层厚度 -涂层厚度标准 -插销量规 -螺纹丝 -航空航天零件 -汽车零件 -医疗器械 Laseruler® ...
... 概述
HORIZON是Marposs推出的下一代干涉控制器,面向工业精密测量设计。它提供纳米级测量能力和灵活的集成选项,支持工艺优化、减少报废并加强质量控制。
主要优势
- 通过高精度反馈实现工艺优化
- 降低报废率与返工
- 纳米级分辨率提升质量控制水平
- 对不同材料和几何形状具有灵活的传感器与接口兼容性
应用
- 制造业的精密测量(半导体、3C电子、电动汽车零部件)
- 在线生产控制与实验室检测
- 对反光或透明材料的厚度与表面测量
技术规格
- 产品类型:下一代干涉控制器
- 型号:HORIZON
- 制造商:Marposs
- 测量技术:干涉法,纳米级分辨率
- 传感器兼容性:支持多种传感器和波长
- 编码器:支持最多三个编码器以实现同步多点采集
- 连接性:模拟输出、先进数字接口、支持FieldBus;USB用于数据采集和固件更新
- 同步功能:支持MASTER-SLAVE网络,用于复杂测量配置