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... 白光干涉仪IMS5600-DS用于最高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估的特殊校准，可实现亚纳米分辨率的绝对测量。该干涉仪用于具有最高精度要求的测量任务，例如，在电子和半导体生产中。对于真空应用，Micro-Epsilon提供特殊的传感器、电缆和馈通附件。这些传感器和电缆在很大程度上是无颗粒的，甚至可以在UHV中使用。 该系统提供绝对测量值，因此也可用于阶梯轮廓的距离测量。由于采用了绝对测量，阶梯的采样具有很高的信号稳定性。当对移动物体进行测量时，脚跟、台阶和凹陷的高度差异因此可以被可靠地检测出来。该测量系统具有亚纳米级的分辨率，相对于测量范围而言，具有较大的偏移距离。 通过对透明物体的多峰距离测量，可同时评估多达14个距离值。例如，可以确定玻璃和承载板之间的距离。然后，控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。 IMS5600-DS干涉仪可用于真空环境和洁净室中的测量任务，干涉仪的分辨率达到亚纳米范围。 ...
... 1. 产品简介 激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。 SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 2.产品配置 SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。 其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 二.工作原理 激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。 若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 三. ...
... ZYGO 的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向，并且可以在真空中工作。 该装置会测量回射器目标，用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO 提供标准和紧凑尺寸的线性干涉仪，以满足不同的空间限制要求。例如：十字刻线台、龙门系统、转向镜 该装置会测量平面镜目标，用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO 的平面镜干涉仪具有高稳定性，可减少热误差。例如：晶圆台、堆叠工作台系统 该装置会测量折射率的变化，用于补偿其他测量轴。ZYGO ...
... ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。 ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳，提供了两个测量轴。 ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率，适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中，支持扩展到多达 64 个测量轴。 我们荣获专利的循环减小误差选项可以自动、无缝地消除 DMI 系统中常见的固有非线性误差，从而达到最高的测量精度。 ...
... 三束激光干涉测量系统，可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统，精度最高 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离：12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 用于高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，例如三面镜、球面镜、平面镜反射镜 - 允许测量反射镜倾斜最大 ± 22.5°。 - 结构紧凑、坚固耐用 - 传感器外壳具有防水溅保护装置 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 符合政府标准 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 高精度和可靠的结果对于导轨、测量平台、显微镜和定位平台、三坐标测量机和机床以及多坐标测量的长度测量和校准至关重要。我们的通用型激光干涉仪 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 带两束平行测量光束的高稳定性差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热长期稳定传感器，温度灵敏度 < 20 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：21 毫米 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域（如材料特性分析）长期测量的首选。 与标准干涉仪不同，差分式激光干涉仪的参考光束从传感器头引出，与测量光束平行。这一概念使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会明显影响测量的分辨率或稳定性。这种干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内，而且由于采用了差分原理，即使在正常的实验室条件下，也能达到相当的测量或光束长度。 如果使用倾斜不变反射器进行测量，长度测量范围可达数米。干涉测量系统采用模块化设计，因此可以根据不同的测量任务进行调整。 ...
SIOS Meßtechnik GmbH
... 。 - 集成相机和自动对焦简化设置和记录。 - 在工业和户外条件下可靠。 应用： - 汽车、航空航天和重型机械中的精密测量。 - 符合标准的校准。 - 精密制造中的质量控制。 - 需要详细空间数据的OEM应用。 认证： - CE认证，符合全球安全和质量标准。 Q2激光雷达提供卓越的性能和灵活性，为干涉仪设定了新的标准。 ...
... 概述
HORIZON是Marposs推出的下一代干涉控制器，面向工业精密测量设计。它提供纳米级测量能力和灵活的集成选项，支持工艺优化、减少报废并加强质量控制。
主要优势
- 通过高精度反馈实现工艺优化
- 降低报废率与返工
- 纳米级分辨率提升质量控制水平
- 对不同材料和几何形状具有灵活的传感器与接口兼容性
应用
- 制造业的精密测量（半导体、3C电子、电动汽车零部件）
- 在线生产控制与实验室检测
- 对反光或透明材料的厚度与表面测量
技术规格
- 产品类型：下一代干涉控制器
- 型号：HORIZON
- 制造商：Marposs
- 测量技术：干涉法，纳米级分辨率
- 传感器兼容性：支持多种传感器和波长
- 编码器：支持最多三个编码器以实现同步多点采集
- 连接性：模拟输出、先进数字接口、支持FieldBus；USB用于数据采集和固件更新
- 同步功能：支持MASTER-SLAVE网络，用于复杂测量配置
... 为实现高精度位移测量，SmarAct 提供了 PICOSCALE 干涉仪。 一台仪器中包含 3 个平行激光干涉仪，用于 3D 测量 测量带宽高达 2.5 MHz（10 MHz 采样率），分辨率低至 1 pm1 可对大多数材料（塑料、玻璃、金属甚至水）进行测量 多种传感器头可用于不同的应用和环境（包括真空和低温环境） 可通过选配模块扩展为完整的实验室测量和控制仪器 性能久经考验，100 多家客户满意 1 在频域分析周期性位移时 工作原理 所有 PICOSCALE 产品都基于迈克尔逊干涉仪，其工作原理是使用分光镜将一束光分成两条路径，然后将光束反射到反射镜上，再重新组合产生干涉条纹。由位移或折射率变化引起的光路长度变化会改变干涉条纹，从而实现对皮米位置变化的高精度测量。 迈克尔逊干涉仪的优势 迈克尔逊干涉仪通过分光和合光来测量最小的位移、振动和折射率变化，具有纳米或亚纳米级的精度和可靠性。其多功能性、非接触式操作以及在超高真空或低温等苛刻环境中的性能，使其成为计量、光学和先进研究领域不可或缺的应用工具。 ...
... PICOSCALE 干涉仪控制器配备了窄带激光源和必要的电子设备，用于处理和分析光信号。微型传感器头可作为迈克尔逊干涉仪来捕捉这些信号。这些传感器通过多达三个通道的光纤连接到控制单元，从而实现非接触、高精度的位移测量。该系统拥有强大的固件、用户友好的软件和一系列附件，无论是在新的测量配置中还是在已有的测量配置中，PICOSCALE 干涉仪控制器都能实现无缝集成。 通道数 - 3 数据速率 [MHz] - 高达 10 测量激光波长 [nm] - 1550，激光等级 1（NIST 可追溯） 先导激光波长 ...
... HPI-3D 线性激光测量系统是一种激光干涉仪，安装快速简便，可同时进行动态 3DOF 测量。HPI-3D 能够以非常高的速度进行测量，并以高精度返回测量结果。该设备是高精度激光干涉仪领域 20 多年经验的结晶。该干涉仪代表了激光测量领域的 "专有技术 "和最佳参数。所有这些都与最高的质量、丰富的附件和选项、易用性和紧凑性密切相关。 测量不再受限！线性测量系统 HPI-3D 优化了现代激光系统的可用参数。极高的移动速度、超高分辨率和高采样率使该设备甚至适用于非常苛刻的应用。 虽然目前还没有通用的测量设备，但 ...
... Teem Photonics公司已经开发并提供了一个新的紧凑、稳定和高性能的干涉仪系列，用于测量皮米级的位移和振动。 Teem Photonics的PicoMove干涉仪是基于单芯片集成的高稳定性架构，其测量结果具有内在的超低噪声。 对眼睛安全的1.55µm工作波长提供了与商业电信源的兼容性。 该传感器的设计还可以处理可见光波长，以方便光束对准。Teem提出了使用低热膨胀材料和UHV环境的封装选项。测量系统的电气部分（激光源、检测器）通过可靠的光纤尾纤进行远程控制。 > 激光信号（来自输入光纤）被分成两个臂：一个是具有光刻定义的恒定长度的参考臂，另一个是自由空间测量臂，光在移动目标上被反向反射。 ...