位移测量干涉仪 PICOSCALE V2

激光光学高精度

高精度的非接触式位移测量 对于位移的高精度测量，SmarAct提供PICOSCALE干涉仪。 - 3个平行激光干涉仪在一台仪器上进行3D测量 - 测量带宽高达2.5 MHz（10 MHz采样率），分辨率低至1 pm1 - 可在大多数材料（塑料、玻璃、金属甚至水）上进行测量 - 多种传感器头可用于不同的应用和环境（包括真空和低温）。 - 可通过可选的模块扩展为一个完整的实验室测量和控制仪器 - 经过验证的性能，有100多个满意的客户 1 在频域中分析周期性位移时 应用实例 压电式扫描仪的高分辨率光学位移测量 样品的精确定位在各种应用中都是最重要的。虽然采用粘滑压电技术的定位系统提供了多种可能性，但在某些应用中，滑移行为是不可取的。在这种情况下，压电扫描器充分显示了它们的潜力。 在这种情况下，压电扫描器显示了它们的全部潜力，因为它们可以在几微米的范围内非常准确地定位一个样品。在这个应用说明中，压电式扫描仪的步骤得到了验证。在使用光学编码器作为传感器的闭环操作中，采用PICOSCALE干涉仪来揭示单纳米的步骤。 DeepL 平移的直线度测量 DeepL 平移的直线度测量是PICOSCALE干涉仪的典型应用之一。