位移测量干涉仪 PICOSCALE V2

激光光学高精度

为实现高精度位移测量，SmarAct 提供了 PICOSCALE 干涉仪。 一台仪器中包含 3 个平行激光干涉仪，用于 3D 测量 测量带宽高达 2.5 MHz（10 MHz 采样率），分辨率低至 1 pm1 可对大多数材料（塑料、玻璃、金属甚至水）进行测量 多种传感器头可用于不同的应用和环境（包括真空和低温环境） 可通过选配模块扩展为完整的实验室测量和控制仪器 性能久经考验，100 多家客户满意 1 在频域分析周期性位移时 工作原理 所有 PICOSCALE 产品都基于迈克尔逊干涉仪，其工作原理是使用分光镜将一束光分成两条路径，然后将光束反射到反射镜上，再重新组合产生干涉条纹。由位移或折射率变化引起的光路长度变化会改变干涉条纹，从而实现对皮米位置变化的高精度测量。 迈克尔逊干涉仪的优势 迈克尔逊干涉仪通过分光和合光来测量最小的位移、振动和折射率变化，具有纳米或亚纳米级的精度和可靠性。其多功能性、非接触式操作以及在超高真空或低温等苛刻环境中的性能，使其成为计量、光学和先进研究领域不可或缺的应用工具。