角位移传感器 L01

线性非接触式激光

带线状聚焦光束的传感器头，用于圆柱形目标。 L01是一个用于PICOSCALE干涉仪的传感器头。目标光束仅沿圆柱形透镜的一个轴线聚焦，从而产生一个线状焦点。这样，传感器头沿聚焦轴有一个相对大的角度工作范围，而沿正交轴有一个大直径。通常情况下，这些传感器头被用来测量旋转的圆柱形物体的偏心运动，并对其摆动，即旋转轴的尖端/倾斜不敏感。 光束几何 - 线状聚焦 焦点距离[毫米] - 30或50 光束腰部直径[µm] - 50 x 1590 角度工作范围 [- 沿聚焦轴的±1.3 环境兼容性 - 空气、高压、超高压 典型目标 - 圆柱形样品 机械性能 尺寸[mm] - 9 x 26 (Ø x L)