带聚焦光束的传感器头,具有高对准公差。
F01是一种带有聚焦探针光束的传感器头类型。这允许测量小目标的位移。此外,该传感器头提供了高角度公差。
也请看方便的安装选项和光纤选项。
对于更高的角度公差和更小的光斑尺寸,请参见F03传感器头,它也与PICOSCALE干涉仪兼容。
光束几何 - 聚焦的
焦点距离[毫米] - 10 (可定制)
光束腰部直径[µm] - 28 *
工作距离[毫米] - 10 ± 0.5 *
角度工作范围 [ - ± 2 *
环境兼容性 - 空气、HV、UHV
典型目标 - 小型样品
机械性能
尺寸[mm] - 6 x 21 (Ø x L)
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