角位移传感器 C04

非接触式光学通用

用于一般用途的紧凑型传感器头。 C04 是 PICOSCALE 干涉仪的新型标准传感器头，在大多数情况下可取代 C01。由于其准直输出光束和紧凑的外形，它适用于大多数普通应用。 传感器头 光束几何形状 - 准直 光束腰部直径 [µm] - 350 工作距离 [mm] - 13 ... 500 角度工作范围 [ - ± 0.075 环境兼容性 - 空气、HV、UHV 典型目标 - 镜子 机械性能 尺寸 [mm] - 4 x 13（直径 x 长度）