紧凑型位移传感器 C01

角度线性非接触式

标准的 PICOSCALE C01 传感器头有一个分光镜端口未用于干涉仪。通常情况下，分光镜的这一部分会进行粗磨，以便用作校准视口（见示意图）。下面我们将这个视口称为 SmarAlign 窗口。 当 PICOSCALE 的先导激光束启动时，可见光可用于追踪目标镜面的传播路径以及反射回传感器头的路径。如果反射光束击中传感器头，就会在 SmarAlign 窗口中看到两个光点。通过微调传感器头的尖端/倾斜角度，这两个光点可以重叠，这意味着两束光可以发生干涉。